[實用新型]一種雙面光刻裝置

有效

• 申請號: 201220216139.6
• 申請日: 2012-05-15
• 公開（公告）號: CN202600360U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 苗任忠
• 申請（專利權）人: 朝陽無線電元件有限責任公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/42;G03F9/00
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 蔣常雪

1.一種雙面光刻裝置，包括光刻機、雙面對準光刻版（3）（7）和光刻板固定夾具；其特征在于：所述光刻板固定夾具包括調整框（2）、鋁蓋（4）、鎖緊夾（5）（8）和鋁座架（6）；雙面對準光刻版包括規格相同的光刻版B（3）和光刻版A（7），光刻版B（3）和光刻版A（7）四個角上均有專用對準標記；光刻版B（3）固定在鋁蓋（4）上，光刻版A（7）固定在鋁座架（6）上，硅片（1）置于光刻版B（3）和光刻版A（7）之間，通過兩個鎖緊夾（5）（8）將光刻版B（3）、硅片（1）和光刻版A（7）牢牢固定。

2.根據權利要求1所述的一種雙面光刻裝置，其特征在于：鋁座架（6）兩個對角上各有一個可調節鎖緊夾（5）（8），鋁座架（6）另兩個對角上各有一個定位孔（26），定位孔（26）內為M4頂絲手柄滾花（21），定位孔（26）是在鋁座架（6）上開孔然后嵌入銅套（23），鋁座架（6）下方四個角上各有一個硬塑料王支架（10），兩個調節手柄（24）通過固定螺絲將其固定在鋁座架（6）兩側的中間位置。

3.根據權利要求1所述的一種雙面光刻裝置，其特征在于：可調節鎖緊夾（5）（8）張口中有一個彈簧（27），固定螺絲穿過彈簧（27）中心，調節手柄（28）通過固定螺絲固定在可調節鎖緊夾外側。

4.根據權利要求1所述的一種雙面光刻裝置，其特征在于：鋁蓋（4）四個邊各有兩個定位調整頂絲（9），兩個調節手柄（31）通過固定螺絲將其固定在鋁蓋（4）兩側的中間位置，鋁蓋（4）兩個對角上各有一個定位孔（32）。