[實用新型]一種模塊化單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設備

有效

• 申請號: 201220215641.5
• 申請日: 2012-05-15
• 公開（公告）號: CN202658142U
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 張磊
• 申請（專利權）人: 沈陽光遠新能源科技有限公司
• 主分類號: C10M175/00
• 分類號: C10M175/00
• 代理公司: 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001
• 代理人: 任玉龍

技術領域

本實用新型涉及機電一體化設備領域，特別涉及了一種模塊化單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設備。

背景技術

目前，硅片線切割工藝的現狀，為了保證切割質量，切割工藝中使用的砂漿基本都是極少的重復使用，切割使用后的廢棄砂漿直接作為工業廢棄物堆積處理，或者委托專業處理廠對使用過的砂漿進行處理，無論以上那種方式，都會造成極大浪費，產生較大成本，因此，實現砂漿的回收再利用是硅片生產企業降低生產成本的有效途徑，需要合理的設備，現有設備結構復雜，布局松散，占地面積大，同時由于整體結構固化單一，導致客戶必須同時購買所有罐體。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了減小設備占地面積，實現設備模塊化，特提供了一種模塊化單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設備。

本實用新型提供了一種模塊化單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設備，其特征在于：所述的模塊化單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設備，包括一次液處理設備1，五號罐2，六號罐3，傳輸泵4，四號罐5，給料泵6，電控柜7，分離機8，一號罐9，二號罐10，三號罐11；

其中：分離機8水平擺放在整個設備正面，將一次液處理設備1垂直擺放在整個設備左側；將一號罐9和三號罐11擺放在正面，二號罐10和五號罐2擺放在背面，電控柜7安裝在設備一端，電控柜7分別分離機8和一次液處理設備1相連，二號罐10與一次液處理設備1相連，一次液處理設備1再與三號罐11相連，四號罐5與分離機8及一號罐9相連，五號罐2與一號罐9相連，六號罐3與一號罐9相連，給料泵6與四號罐5和六號罐3相連，四號罐5和六號罐3單獨擺放在一起。

所述的分離機8為臥式螺旋沉降離心機。

所述的四號罐5為存儲罐，所述的五號罐2為調和罐。

所述的單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設備中除了四號罐5和六號罐3之外的部分，整體作為一個大的功能單元模塊，四號罐5和六號罐3能夠單獨擺放在一起，由生產設備的企業提供或使用設備的企業自行提供。

工作原理：

切片機產生的廢舊砂漿，經分離機的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經一次液處理設備的分離后，產生回收的液相和回收固相，對回收固相進行再處理。

本實用新型的優點：

本實用新型所述的模塊化單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設備，用于分離和回收硅片切割工藝中所產生的廢砂漿，同時亦適用于半導體芯片、水晶、鉆石等行業的廢液回收利用。硅片切割廢液中，PEG、SiC的回收率可達80%以上，硅片切割廢砂漿在線回收設備與線切割機可采用1：4或1：5配置。有效地避免了浪費。模塊化的設備，使設備的使用企業可自行準備存儲罐，降低采購成本。

附圖說明

下面結合附圖及實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明：

圖1為模塊化單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設備的原理結構示意圖。

具體實施方式

實施例

本實施例提供了本實用新型提供了一種模塊化單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設備，其特征在于：所述的模塊化單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設備，包括一次液處理設備1，五號罐2，六號罐3，傳輸泵4，四號罐5，給料泵6，電控柜7，分離機8，一號罐9，二號罐10，三號罐11；

其中：分離機8水平擺放在整個設備正面，將一次液處理設備1垂直擺放在整個設備左側；將一號罐9和三號罐11擺放在正面，二號罐10和五號罐2擺放在背面，電控柜7安裝在設備一端，電控柜7分別分離機8和一次液處理設備1相連，二號罐10與一次液處理設備1相連，一次液處理設備1再與三號罐11相連，四號罐5與分離機8及一號罐9相連，五號罐2與一號罐9相連，六號罐3與一號罐9相連，給料泵6與四號罐5和六號罐3相連，四號罐5和六號罐3單獨擺放在一起。

所述的分離機8為臥式螺旋沉降離心機。

所述的四號罐5為存儲罐，所述的五號罐2為調和罐。

所述的單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設備中除了四號罐5和六號罐3之外的部分，整體作為一個大的功能單元模塊，四號罐5和六號罐3能夠單獨擺放在一起，由生產設備的企業提供或使用設備的企業自行提供。

工作原理：

切片機產生的廢舊砂漿，經分離機的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經一次液處理設備的分離后，產生回收的液相和回收固相，對回收固相進行再處理。