[實(shí)用新型]一種擴(kuò)散源攪拌裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220215170.8 | 申請日: | 2012-05-11 |
| 公開(公告)號: | CN202638361U | 公開(公告)日: | 2013-01-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 俞舟;劉海;武會達(dá);吳而義 | 申請(專利權(quán))人: | 無錫德鑫太陽能電力有限公司;無錫尚德太陽能電力有限公司 |
| 主分類號: | B01F13/08 | 分類號: | B01F13/08;B01F3/08 |
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| 地址: | 214028*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 擴(kuò)散 攪拌 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及太陽電池制造領(lǐng)域,尤其涉及一種擴(kuò)散源攪拌裝置。
背景技術(shù)
在晶體硅太陽電池制造領(lǐng)域,通過擴(kuò)散在P型或N型的硅片上形成PN結(jié)是非常關(guān)鍵的工藝步驟,PN結(jié)的質(zhì)量直接決定了太陽電池效率的高低。管式高溫擴(kuò)散是目前主流生產(chǎn)技術(shù),其采用氮?dú)鈹y帶三氯氧磷進(jìn)入擴(kuò)散管對放置在其中的硅片進(jìn)行擴(kuò)散,管式擴(kuò)散的特點(diǎn)是產(chǎn)量大、工藝成熟操作簡單。
但隨著晶體硅太陽電池向大尺寸和超薄化方向發(fā)展,管式擴(kuò)散造成的PN結(jié)在整個硅片表面分布的不均勻越來越成為電池效率難以提高的瓶頸。鏈?zhǔn)綌U(kuò)散設(shè)備以其處理硅片尺寸幾乎不受限制、均勻性好、碎片率低、產(chǎn)能高、所需的工藝時間短和成本較低等諸多優(yōu)點(diǎn),其在晶體硅制造領(lǐng)域的使用范圍越來越廣。鏈?zhǔn)綌U(kuò)散工藝通常會采用磷酸來作為擴(kuò)散源,并采用噴涂或印刷的方式來將擴(kuò)散源涂敷在硅片表面,然后通過鏈?zhǔn)綘t進(jìn)行熱處理來形成PN結(jié)。
在制備鏈?zhǔn)綌U(kuò)散的擴(kuò)散源時,通常會將磷酸按照一定比例溶解在水和酒精組成的溶劑中,但磷酸容易與水和酒精形成分層,從而導(dǎo)致擴(kuò)散的不均勻以及擴(kuò)散不良品的出現(xiàn)。現(xiàn)在通常通過人工搖晃的方式使磷酸與溶劑混合均勻。但人工方式存在著浪費(fèi)人力成本,且磷酸與溶劑是否混合均勻需要人工經(jīng)驗判斷,當(dāng)操作人員經(jīng)驗不足時,會造成磷酸與溶劑未混合均勻的事情,從而影響擴(kuò)散的均勻性。
因此,如何提供一種擴(kuò)散源攪拌裝置來減輕操作人員的工作強(qiáng)度,并提高擴(kuò)散源攪拌的均勻性,已成為業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種擴(kuò)散源攪拌裝置,通過所述攪拌裝置可減輕操作人員的工作強(qiáng)度,并提高擴(kuò)散源攪拌的均勻性。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型將提供一種擴(kuò)散源攪拌裝置,用于將設(shè)置在擴(kuò)散源容器中的擴(kuò)散源與溶劑攪拌均勻,所述擴(kuò)散源攪拌裝置包括設(shè)置在擴(kuò)散源容器外的線圈、供電模塊、控制模塊以及設(shè)置在擴(kuò)散源容器中的攪拌磁鐵,所述供電模塊連接在線圈上且向線圈輸出變化的電流以使線圈產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)的磁場,從而帶動攪拌磁鐵在擴(kuò)散源容器中攪拌,所述控制模塊控制供電模塊是否對線圈供電以攪拌擴(kuò)散源和溶劑的混合溶液。
在上述擴(kuò)散源攪拌裝置中,所述擴(kuò)散源為磷酸,所述溶劑包括水和酒精。
在上述擴(kuò)散源攪拌裝置中,所述攪拌磁鐵為長條狀,且其外面包覆設(shè)置有隔離擴(kuò)散源和溶劑的保護(hù)層;所述保護(hù)層和擴(kuò)散源容器的材質(zhì)為聚乙烯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚偏氟乙烯或聚四氟乙烯。
在上述擴(kuò)散源攪拌裝置中,所述攪拌磁鐵的旋轉(zhuǎn)覆蓋面積為擴(kuò)散源容器橫截面積的10%至20%。
在上述擴(kuò)散源攪拌裝置中,所述擴(kuò)散源容器為圓柱狀,其上下分別設(shè)置有進(jìn)液口和出液口,所述出液口上連接有出液管道,所述出液管道上設(shè)置有用于控制出液的閥門。
在上述擴(kuò)散源攪拌裝置中,所述出液管道上連接有酸堿度檢測單元,酸堿度檢測單元在檢測到磷酸與溶劑的混合溶液的酸堿度超出預(yù)設(shè)范圍時,控制模塊控制供電模塊對線圈供電以攪拌混合溶液;所述預(yù)設(shè)范圍為1.2~1.6。
在上述擴(kuò)散源攪拌裝置中,所述攪拌磁鐵放置或活動設(shè)置在擴(kuò)散源容器的底部,所述攪拌磁鐵在線圈所產(chǎn)生磁場的作用下沿變動軸或固定軸旋轉(zhuǎn)。
在上述擴(kuò)散源攪拌裝置中,所述攪拌磁鐵在擴(kuò)散源與溶劑的混合溶液中的攪拌轉(zhuǎn)速為0~100rpm。
與現(xiàn)有技術(shù)中人工搖晃方式來使擴(kuò)散源與溶劑混合均勻,存在著浪費(fèi)人力及難以確保混合均勻的問題相比,本實(shí)用新型的擴(kuò)散源攪拌裝置包括設(shè)置在擴(kuò)散源容器外的線圈、供電模塊、控制模塊以及設(shè)置在擴(kuò)散源容器中的攪拌磁鐵,所述供電模塊連接在線圈上且向線圈輸出變化的電流以使線圈產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)的磁場,從而帶動攪拌磁鐵在擴(kuò)散源容器中攪拌,所述控制模塊控制供電模塊是否對線圈供電以攪拌擴(kuò)散源和溶劑的混合溶液。本實(shí)用新型可減輕操作人員的工作強(qiáng)度,并提高擴(kuò)散源攪拌的均勻性。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型的擴(kuò)散源攪拌裝置的組成結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方案
下面結(jié)合具體實(shí)施例及附圖來詳細(xì)說明本實(shí)用新型的目的及功效。
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