[實用新型]在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220214419.3
• 申請日: 2012-05-14
• 公開（公告）號: CN202705456U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設計）人: 翟宇寧;李毅;劉志斌;宋光耀
• 申請（專利權）人: 深圳市創(chuàng)益科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市毅穎專利商標事務所 44233
• 代理人: 張藝影;李奕暉

1.一種在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，其陰極裝置裝在真空腔室內，其特征在于所述陰極裝置包括多個連續(xù)鍍膜的磁控濺射陰極靶，每個陰極靶的磁體由外環(huán)和中間電磁體組成，且外環(huán)和中間電磁體的勵磁線圈接直流電源正負極，調節(jié)陰極靶相鄰靶位的磁體極性，在太陽能電池基片表面連續(xù)鍍制導電膜層。

2.根據權利要求1所述的在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，其特征在于所述連續(xù)鍍膜的磁控濺射陰極靶雙側排布，每側配備三個平面陰極靶。

3.根據權利要求2所述的在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，其特征在于所述連續(xù)鍍膜的磁控濺射陰極靶雙側排布，每側配備AZO靶材、銀靶材和鋁靶材，陰極接DC磁控濺射電源，在太陽能電池基片表面連續(xù)鍍制背電極膜層。

4.根據權利要求3所述的在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，其特征在于：在AZO靶材和Ag靶材的相鄰交叉區(qū)域磁控濺射鍍膜獲得彼此獨立的AZO膜層和Ag膜層。

5.根據權利要求3所述的在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，其特征在于：在銀靶材和鋁靶材的相鄰交叉區(qū)域磁控濺射鍍膜。

6.根據權利要求1所述的在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，其特征在于所述陰極裝置還包括組合式陰極靶位交叉區(qū)，相鄰或相對的陰極靶的磁體的極性相同或相反，連續(xù)磁控濺射鍍混合膜層。

7.根據權利要求2所述的在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，其特征在于所述磁控濺射陰極靶是平面靶或旋轉靶，陰極靶兩側排布，對太陽能電池基片雙側面鍍膜。

8.根據權利要求1所述的在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，其特征在于所述磁控濺射陰極靶單側排布，配五個平面陰極靶位，依次為陶瓷靶TiO2、合金靶NiCr、金屬靶銀Ag、合金靶NiCr、陶瓷靶TiO2，陰極分別接DC磁控濺射電源。

9.根據權利要求1所述的在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，其特征在于所述外環(huán)和中間電磁鐵，通過匹配勵磁線圈的匝數控制外環(huán)和中間電磁體端面的磁通量相等。

10.根據權利要求1所述的在線制備太陽能電池導電膜層的磁控濺射裝置，其特征在于所述外環(huán)和中間電磁鐵，通過匹配外環(huán)和中間磁體的截面積調節(jié)磁通量，在太陽能電池基片表面連續(xù)鍍制復合膜、金屬膜或金屬氧化物膜層。