[實用新型]太陽電池用擴散爐有效
| 申請號： | 201220214365.0 | 申請日： | 2012-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN202601592U | 公開（公告）日： | 2012-12-12 |
| 發明（設計）人： | 倪志春;張永紅;王繼磊;邱凱坤 | 申請（專利權）人： | 中電電氣（南京）光伏有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務所 32237 | 代理人： | 程化銘 |
| 地址： | 211100 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 太陽電池 擴散 | ||
【權利要求書】：
1.一種太陽電池用擴散爐，包括解熱爐體，解熱爐體內設置石英爐管和尾氣管，尾氣管設置在解熱爐體底部；其特征是：所述尾氣管為雙層中空石英管。
2.根據權利要求1所述太陽電池用擴散爐，其特征是：所述尾氣管為雙層真空石英管。
3.根據權利要求1或2所述太陽電池用擴散爐，其特征是：在所述尾氣管露出解熱爐體的部分設置加熱保溫層。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
