[實用新型]半導體基板清洗毛刷機有效
| 申請號： | 201220213820.5 | 申請日： | 2012-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN202725526U | 公開（公告）日： | 2013-02-13 |
| 發明（設計）人： | 廖明俊;趙亮;陳建華;蔣秦蘇 | 申請（專利權）人： | 矽品科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | B08B1/02 | 分類號： | B08B1/02 |
| 代理公司： | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人： | 陸明耀;姚姣陽 |
| 地址： | 215123 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 清洗 毛刷 | ||
【權利要求書】：
1.一種半導體基板清洗毛刷機，包括機臺（1）和相對稱設置在所述機臺（1）上的兩組支架（2），其特征在于：
在兩組支架（2）之間架設有清洗機構，所述清洗機構包括一轉動軸（5）和一毛刷（8），
在兩組支架（2）上開設有是所述清洗機構兩倍數量的軸孔（4），兩組支架上的軸孔（4）兩兩相對應，
所述軸孔（4）的孔內頂部裝有彈簧（6），所述轉動軸（5）穿過所述兩兩相對應的軸孔（4），使所述彈簧（6）相應的壓在所述轉動軸（5）的軸壁上，
所述毛刷（8）位于兩組支架（2）之間，包裹并固定在所述轉動軸（5）的中間部位。
2.根據權利要求1所述的半導體基板清洗毛刷機，其特征在于：在所述兩組支架（2）之間、所述轉動軸正下方設置有傳送半導體基板（7）的傳送帶（3）。
3.根據權利要求2所述的半導體基板清洗毛刷機，其特征在于：所述半導體基板（7）放置在所述傳送帶（3）上開設的與所述基板（7）大小和厚度相應的凹槽內。
4.根據權利要求1所述的半導體基板清洗毛刷機，其特征在于：包含至少兩組的所述清洗機構。
5.根據權利要求1所述的半導體基板清洗毛刷機，其特征在于：所述毛刷（8）為圓筒形海綿或輪狀型海綿組合。
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