[實用新型]電環真空裝置有效
| 申請號: | 201220212959.8 | 申請日: | 2012-05-11 |
| 公開(公告)號: | CN202640135U | 公開(公告)日: | 2013-01-02 |
| 發明(設計)人: | 楊春麗 | 申請(專利權)人: | 廣州遂聯自動化設備有限公司 |
| 主分類號: | B24B41/06 | 分類號: | B24B41/06 |
| 代理公司: | 廣州市越秀區海心聯合專利代理事務所(普通合伙) 44295 | 代理人: | 蔡國 |
| 地址: | 511442 廣東省廣州市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 真空 裝置 | ||
1.一種電環真空裝置,應用于拋光裝置上,包括自上而下依次設置的真空吸裝置、連接裝置和電環裝置,所述連接裝置連接所述真空吸裝置和所述電環裝置,所述真空吸裝置用于吸附工件,其特征在于:所述真空吸裝置設有用以給所述真空吸裝置抽真空的抽真空口以及用以給所述真空吸裝置灌空氣的吹空氣口,所述電環裝置固定于拋光裝置的盤體上,所述盤體與所述電環裝置一起轉動。
2.如權利要求1所述的電環真空裝置,其特征在于:所述真空吸裝置包括吸吹軸,所述吸吹軸上設有所述抽真空口和所述吹空氣口。
3.如權利要求2所述的電環真空裝置,其特征在于:所述抽真空口設于所述吸吹軸的上端部,所述吹空氣口設于所述吸吹軸的側邊。
4.如權利要求3所述的電環真空裝置,其特征在于:所述真空吸裝置還包括依序套于所述吸吹軸上的吹氣件和吸氣件,所述吹氣件和所述吹空氣口連通,所述吸氣件和所述抽真空口連通。
5.如權利要求4所述的電環真空裝置,其特征在于:所述吹氣件包括均套于所述吸吹軸上的吹軸承座、吹軸承座上端蓋、吹軸承座下端蓋及吹軸承座軸承,所述吹軸承座軸承位于所述吹軸承座內側,所述吹軸承座上端蓋和所述吹軸承座下端蓋位于所述吹軸承座的上下兩端。?
6.如權利要求5所述的電環真空裝置,其特征在于:所述吹氣件還包括接頭,所述接頭設于所述吹軸承座的外側,并通過所述吹軸承座連通所述吹空氣口。
7.如權利要求4所述的電環真空裝置,其特征在于:所述吸氣件包括均套于所述吸吹軸上的吸軸承座、吸軸承座上端蓋、吸軸承座下端蓋和吸軸承座軸承,所述吸軸承座軸承位于所述吸軸承座內側,所述吸軸承座上端蓋和所述吸軸承座下端蓋位于所述吸軸承座上下兩端。
8.如權利要求1所述的電環真空裝置,其特征在于:所述電環裝置包括固定套、電環、電環固定座和電環軸,所述固定套固定在所述盤體上,所述電環、所述電環固定座和所述電環軸位于所述固定套內側,且所述電環軸一端固定于所述固定套,另一端固定于所述電環,所述電環固定于所述電環固定座上,所述連接裝置連接所述固定套和所述真空吸裝置。
9.如權利要求1所述的電環真空裝置,其特征在于:所述盤體由一驅動裝置驅動轉動。
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