[實用新型]一種磁控濺射旋轉靶

有效

• 申請號: 201220208554.7
• 申請日: 2012-05-10
• 公開（公告）號: CN202595261U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 宋光耀;李毅;劉志斌;翟宇寧
• 申請（專利權）人: 深圳市創益科技發展有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 深圳市毅穎專利商標事務所 44233
• 代理人: 張藝影;李奕暉

1.一種磁控濺射旋轉靶，包括靶筒、靶軸、靶材和磁體，靶材裝在靶筒的外壁上，磁體位于靶筒內部，其特征在于所述靶筒的兩端設有連接構件，該連接構件由端頭、靶軸支承座和連接夾套組成，端頭由連接夾套安裝在靶筒的兩端，靶軸支承座安裝在端頭內，靶軸的一端裝有磁體移動機構，另一端裝有靶材旋轉機構。

2.根據權利要求1所述的磁控濺射旋轉靶，其特征在于所述靶軸貫穿靶筒，靶軸支承座內設有靶軸移動槽。

3.根據權利要求1所述的磁控濺射旋轉靶，其特征在于所述靶軸的兩端設有平面臺階，該平面臺階配合插接在靶軸移動槽內。

4.根據權利要求1所述的磁控濺射旋轉靶，其特征在于所述磁體移動機構主要由電機、齒輪和齒條組成，電機的運動軸上裝有齒輪，靶筒的端頭裝有齒條，齒輪與齒條嚙合。

5.根據權利要求1所述的磁控濺射旋轉靶，其特征在于所述靶軸裝有靶材旋轉機構的一端，其上的靶軸支承座的長度大于端頭的長度。

6.根據權利要求1所述的磁控濺射旋轉靶，其特征在于所述靶材旋轉機構包括電機、主齒輪和副齒輪，電機的轉動軸上裝有主齒輪，靶筒的端頭上裝有副齒輪，主齒輪與副齒輪相嚙合，帶動靶材旋轉。

7.根據權利要求1所述的磁控濺射旋轉靶，其特征在于所述磁體包括固定塊、封閉盒、靶靴和多組磁鐵，磁鐵安裝在磁靴上，且置于封閉盒內，該封閉盒由固定塊安裝在靶軸上。

8.根據權利要求7所述的磁控濺射旋轉靶，其特征在于所述磁體的封閉盒內裝有冷卻水。