[實用新型]石英管廢氣排風裝置

有效

• 申請號: 201220208392.7
• 申請日: 2012-05-10
• 公開（公告）號: CN202786516U
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 宋道新;殷海峰;楊洪軍
• 申請（專利權）人: 山東天信光伏新能源有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16
• 代理公司: 東營雙橋專利代理有限責任公司 37107
• 代理人: 王錫洪

技術領域

本實用新型涉及一種光伏行業中的擴散機，特別涉及一種石英管廢氣排風裝置。

背景技術

????當前光伏電池片行業飛速發展，市場對產品質量的要求越來越高，產品競爭越來越激烈，要想在市場競爭中立足腳跟，必須從產品質量和降低成本下功夫。現有的擴散機在使用過程中，排風控制不穩定，產品在工藝過程中排風時大時小；廢氣管太粗，閥門太大不能有效的?控制排風工作，從而浪費POCL3電能、硅片；另外，由于POCL3屬于劇毒，也需要保證廢氣需要完全排出。

發明內容

本實用新型的目的就是針對現有技術存在的上述缺陷，提供一種石英管廢氣排風裝置，在擴散過程中能夠有效地控制排風量，時排風不穩，減少到最小。節約電能片源。

其技術方案是：主要由主排風管、球閥、廢氣管、廢液瓶、大石英管、恒溫槽、進氣管和出氣管組成，恒溫槽內設有三氯氧磷，恒溫槽通過進氣管與大石英管連通，大石英管的出氣管連接多個廢液瓶，廢液瓶的末端通過廢氣管連接到主排風管中，在所述的廢氣管與主排風管之間設有球閥。

上述的廢液瓶設有兩組或三組，形成兩級或三級廢氣過濾。

本實用新型的有益效果是：在擴散過程中能夠有效地控制排風量，時排風不穩，減少到最小，同時降低了電能，水、HF等的使用，節省了成本。

附圖說明

附圖1是本實用新型的結構示意圖；

上圖中：主排風管1、球閥2、廢氣管3、廢液瓶4、大石英管5、恒溫槽6、進氣管7和出氣管8、小孔9。

具體實施方式

?????結合附圖1，對本實用新型作進一步的描述：

本實用新型主要由主排風管1、球閥2、廢氣管3、廢液瓶4、大石英管5、恒溫槽6、進氣管7和出氣管8組成，恒溫槽6內設有三氯氧磷，恒溫槽6通過進氣管7與大石英管5連通。大石英管5內腔的出氣管設有多個小孔9，大石英管外側的出氣管8連接兩組廢液瓶4或者三組廢液瓶4，形成兩級或三級廢氣過濾；廢液瓶4的末端通過直徑8毫米的廢氣管3連接到主排風管1中，在所述的廢氣管3與主排風管1之間設有球閥2，通過球閥的調節，可以使擴散工藝更好的發揮作用；減少因排風不穩造成的浪費硅片的問題，同時降低了電能，水、HF的使用。