[實用新型]帶有研磨液供應(yīng)功能的研磨頭及研磨裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220208336.3 | 申請日： | 2012-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN202592202U | 公開（公告）日： | 2012-12-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 唐強;李佩 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/11 | 分類號： | B24B37/11;B24B37/02;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 帶有 研磨 供應(yīng) 功能 裝置 | ||
1.一種帶有研磨液供應(yīng)功能的研磨頭，包括研磨頭本體、驅(qū)動軸以及限位環(huán)，所述驅(qū)動軸與所述研磨頭本體固定連接，所述限位環(huán)設(shè)置于所述研磨頭本體的下方四周，其特征在于，還包括研磨液供應(yīng)管和至少兩個噴口，所述至少兩個噴口均勻設(shè)置于所述限位環(huán)的內(nèi)側(cè)下方，所述驅(qū)動軸沿軸向設(shè)有供所述研磨液供應(yīng)管穿越的通孔，所述研磨頭本體和所述限位環(huán)內(nèi)設(shè)有用于連接所述研磨液供應(yīng)管及所述至少兩個噴口的研磨液管道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有研磨液供應(yīng)功能的研磨頭，其特征在于，所述噴口的數(shù)量是兩個，相對設(shè)置于所述限位環(huán)的內(nèi)側(cè)下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有研磨液供應(yīng)功能的研磨頭，其特征在于，所述噴口的數(shù)量是三個至五個，且均勻設(shè)置于所述限位環(huán)的內(nèi)側(cè)下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有研磨液供應(yīng)功能的研磨頭，其特征在于，在所述研磨頭本體的下方設(shè)有用于吸附晶圓的吸附膜，所述吸附膜位于所述限位環(huán)的內(nèi)側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有研磨液供應(yīng)功能的研磨頭，其特征在于，所述驅(qū)動軸連接于所述研磨頭本體的中部。
6.一種研磨裝置，包括研磨頭、研磨平臺與研磨墊，所述研磨墊鋪設(shè)于所述研磨平臺上，所述研磨頭設(shè)置于所述研磨墊上，其特征在于，所述研磨頭采用如權(quán)利要求1～5中任意一項所述的帶有研磨液供應(yīng)功能的研磨頭。?
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