[實用新型]一種用于太陽能電池擴散設備的送片機構

有效

• 申請號: 201220205577.2
• 申請日: 2012-05-09
• 公開（公告）號: CN202585372U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 李克;劉良玉;呂文利
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池制造自動化設備領域，尤其涉及一種用于太陽能電池擴散設備的推舟送片機構。

背景技術

太陽能電池作為可再生的環保能源已經越來越受到人們的關注，與其相關的生產工藝及生產設備也得到了迅猛的發展。一直以來，擴散工序是整個太陽能電池片生產工序中最關鍵的工序之一。擴散的潔凈度直接關系著電池效率的高低。

現有的擴散設備送片機構在送完片后，送片機構的一部分在工藝過程中一直處于反應管內，不可避免地帶入了不少雜質，影響了工藝效果，另外現有機構在擴大產能時遇到了送片機構下垂等問題。

發明內容

為了克服現有送片機構送片后仍然留在石英管內，易造成污染的不足以及減少松片機構下垂帶來的問題，本實用新型旨在提供一種用于太陽能電池擴散設備的送片機構，該機構可以實現石英舟的水平及垂直方向運動。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：

一種用于太陽能電池擴散設備的送片機構，其結構特點是，包括用于水平傳送石英舟的推舟底板部件和用于豎向傳送石英舟的推舟機構。

由此，本實用新型實現了石英舟的水平及垂直方向運動。

根據本實用新型的實施例，所述推舟底板部件的結構為，包括底板，裝在底板上的水平運動電機，由該水平運動電機驅動的傳送帶，所述傳送帶上設有夾槳座，該夾槳座上裝有承載石英舟的槳。

作為一種優選方案，所述水平運動電機通過水平渦輪減速機驅動的傳送帶。

進一步地，所述夾槳座裝在L型板上，裝在導軌上的該L型板與傳送帶相連。

推舟底板部件通過底板，傳送帶及導軌，及水平傳動方向的電機組成，實現水平運動。

根據本實用新型的實施例，所述推舟機構的結構為，包括推舟座，設在推舟座內的偏心輪，該偏心輪與一垂直運動電機相聯。?

進一步地，所述推舟座上鉸接有上鋁板，該上鋁板的另一端與一側鋁板的一端鉸接，所述側鋁板的另一端通過一連桿鉸接在推舟座上。

作為一種優選方案，所述垂直運動電機通過垂直渦輪減速機與偏心輪相聯。

籍由上述結構，本實用新型所述的推舟底板部件由底板，傳送帶及導軌，及電機組成。設備送片程序啟動后，電機啟動后，通過渦輪減速機帶動皮帶傳動，從而帶動L型板沿導軌前進，將硅片送到爐管內部，實現送片機構水平運動。垂直運動電機啟動后，帶動偏心輪轉動，偏心輪作用在連桿機構上頂部的鋁板上，帶動聯桿機構運動，聯桿機構側面的鋁板與夾槳機構固定，從而實現了夾槳機構的上下運動。所述推舟機構由一個四聯桿機構，電機，偏心輪，及夾槳機構組成。當電機啟動后，帶動偏心輪轉動，偏心輪作用在連桿機構上頂部的鋁板上，帶動連桿機構運動，聯桿機構側面的鋁板與夾槳機構固定聯接，實現了夾槳機構的上下運動，從而使送片機構可以將硅片放于反應管后退出，同時可以通過調節固定端的位置來調節空載時夾槳機構的仰角，補充載片后槳前端下垂帶來影響，使送片機構在載片時水平進入石英管。推舟機構承載在推舟底板部件上，實現了兩個方向的運動。從而使載片部分（石英舟）實現了水平及垂直方向運動。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型簡化了送片機構，大大降低了人工成本與設備成本，能夠在設備裝片后實現懸臂槳對下垂量角度的補充，提高了設備的穩定性，有利于提高了太陽能電池生產線自動化程度和生產效率。

附圖說明

圖1為本實用新型一種實施例的結構示意圖；

圖2是圖1的左視圖；

圖3是本實用新型所述推舟座的結構示意圖；

圖4是圖3的局部剖視圖。

在圖中：

1-底板；?????2-傳動帶；?????3-導軌；?????4-?石英舟；

5-水平運動電機；???6-水平渦輪減速機；????7-L型板；?

8-垂直運動電機；???9-垂直渦輪減速機；????10-推舟座；

11-上鋁板；??12-偏心輪；??13-側鋁板；????14-夾槳座。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本實用新型的實施例。需要說明的是附圖序號只表示本實施例的主要零部件，其它沒有一一例出。