[實用新型]熱場坩堝保溫裝置

有效

• 申請號: 201220204570.9
• 申請日: 2012-05-09
• 公開（公告）號: CN202595331U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 唐旭輝;高彬彬
• 申請（專利權）人: 江蘇聚能硅業有限公司
• 主分類號: C30B15/10
• 分類號: C30B15/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及半導體材料生產設備技術領域，尤其是涉及一種熱場坩堝保溫裝置。

背景技術

保溫裝置是制備一些半導體材料時所用的熱場坩堝的重要組成部分，其保溫效果的優劣直接決定著半導體材料拉晶效果的好壞和半導體制備成本的高低。一般的，該保溫裝置多為熱場坩堝的外部包有石墨保溫筒。其缺陷在于：1、石墨材料易于急冷急熱，從而易變形開裂，進而導致半導體材料拉晶過程中成晶較為困難。2、石墨材料耐高溫系數低，保溫效果較差。3、石墨材料尺寸穩定性差，無法滿足變更工藝下各種形狀、尺寸的加工。4、石墨材料長時間使用后會出現掉石墨及斷裂，嚴重影響單晶生長。因此有必要予以改進。

實用新型內容

針對上述現有技術存在的不足，本實用新型的目的是提供一種熱場坩堝保溫裝置，它具有結構穩定不易變形、保溫效果較好、易于加工和不會影響單晶成長的特點。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：熱場坩堝保溫裝置，其包于坩堝本體的外部，所述熱場坩堝保溫裝置包括碳碳復合材料保溫筒，碳碳復合材料保溫筒的外部包纏有碳氈層。

所述碳碳復合材料保溫筒從上至下依次包括上筒、中筒和下筒，且中筒上邊沿不低于本體的上邊沿、下邊沿不高于本體的下邊沿。

采用上述結構后，本實用新型和現有技術相比所具有的優點是：結構穩定不易變形、保溫效果較好、易于加工和不會影響單晶成長。本實用新型的保溫裝置采取坩鍋的外部設有碳碳復合材料保溫筒。由于碳碳復合材料相對于石墨而言：1、強度較高，從而保溫筒結構穩定不易變形；2、耐高溫系數較高，從而保溫筒保溫效果較好；3、機械性能優良，成型后尺寸穩定，能夠隨同坩堝的尺寸進行及時變更；4、長時間使用后不會出現局部斷裂的情況，從而有助于坩堝中半導體的單晶成長。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明：

圖1是本實用新型的實施例的主視剖視結構示意圖。

圖中：10、本體；20、碳碳復合材料保溫簡，21、上筒，22、中筒，23、下筒；30、碳氈層。

具體實施方式

以下所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不因此而限定本實用新型的保護范圍。????

實施例，見圖1所示：熱場坩堝保溫裝置，其包于坩堝本體10的外部，包括碳碳復合材料保溫筒20，且碳碳復合材料保溫筒20的外部包纏有碳氈層30。其中，碳氈層30可以使用西格里碳氈。進一步優化，碳碳復合材料保溫筒20從上至下依次包括上筒21、中筒22和下筒23，且中筒22上邊沿不低于本體10的上邊沿、下邊沿不高于本體10的下邊沿。即，中筒22的水平高度和熱場坩堝的本體10的水平高度相當。當然，此時上筒21的水平高度高于熱場坩堝10的水平高度；下筒23的水平高度低于熱場坩堝10的水平高度。這樣，采取分體式保溫筒的方式，且各個部分分別位于不同的高度，便于碳碳復合材料保溫筒20的安裝，以及便于碳氈層30的包纏。