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[實用新型]單基島露出型單圈多芯片倒裝封裝結構有效

專利信息
申請號: 201220204469.3 申請日: 2012-05-09
公開(公告)號: CN202564245U 公開(公告)日: 2012-11-28
發明(設計)人: 王新潮;李維平;梁志忠 申請(專利權)人: 江蘇長電科技股份有限公司
主分類號: H01L23/31 分類號: H01L23/31;H01L23/495
代理公司: 江陰市同盛專利事務所 32210 代理人: 唐紉蘭
地址: 214434 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 單基島 露出 型單圈多 芯片 倒裝 封裝 結構
【說明書】:

技術領域

本實用新型涉及一種單基島露出型單圈多芯片倒裝封裝結構,屬于半導體封裝技術領域。

背景技術

傳統的高密度基板封裝結構的制造工藝流程如下所示:

步驟一、參見圖3,取一玻璃纖維材料制成的基板,

步驟二、參見圖4,在玻璃纖維基板上所需的位置上開孔,

步驟三、參見圖5,在玻璃纖維基板的背面披覆一層銅箔,

步驟四、參見圖6,在玻璃纖維基板打孔的位置填入導電物質,

步驟五、參見圖7,在玻璃纖維基板的正面披覆一層銅箔,

步驟六、參見圖8,在玻璃纖維基板表面披覆光阻膜,

步驟七、參見圖9,將光阻膜在需要的位置進行曝光顯影開窗,

步驟八、參見圖10,將完成開窗的部分進行蝕刻,

步驟九、參見圖11,將基板表面的光阻膜剝除,

步驟十、參見圖12,在銅箔線路層的表面進行防焊漆(俗稱綠漆)的披覆,

步驟十一、參見圖13,在防焊漆需要進行后工序的裝片以及打線鍵合的區域進行開窗,

步驟十二、參見圖14,在步驟十一進行開窗的區域進行電鍍,相對形成基島和引腳,

步驟十三、完成后續的裝片、打線、包封、切割等相關工序。

上述傳統高密度基板封裝結構存在以下不足和缺陷:

1、多了一層的玻璃纖維材料,同樣的也多了一層玻璃纖維的成本;

2、因為必須要用到玻璃纖維,所以就多了一層玻璃纖維厚度約100~150μm的厚度空間;

3、玻璃纖維本身就是一種發泡物質,所以容易因為放置的時間與環境吸入水分以及濕氣,直接影響到可靠性的安全能力或是可靠性的等級;

4、玻璃纖維表面被覆了一層約50~100μm的銅箔金屬層厚度,而金屬層線路與線路的蝕刻距離也因為蝕刻因子的特性只能做到50~100μm的蝕刻間隙(參見圖15,最好的制作能力是蝕刻間隙約等同于被蝕刻物體的厚度),所以無法真正的做到高密度線路的設計與制造;

5、因為必須要使用到銅箔金屬層,而銅箔金屬層是采用高壓粘貼的方式,所以銅箔的厚度很難低于50μm的厚度,否則就很難操作如不平整或是銅箔破損或是銅箔延展移位等等;

6、也因為整個基板材料是采用玻璃纖維材料,所以明顯的增加了玻璃纖維層的厚度100~150μm,無法真正的做到超薄的封裝;

7、傳統玻璃纖維加貼銅箔的工藝技術因為材質特性差異很大(膨脹系數),在惡劣環境的工序中容易造成應力變形,直接的影響到元件裝載的精度以及元件與基板粘著性與可靠性。

發明內容

本實用新型的目的在于克服上述不足,提供一種單基島露出型單圈多芯片倒裝封裝結構,其工藝簡單,不需使用玻璃纖維層,減少了制造成本,提高了封裝體的安全性和可靠性,減少了玻璃纖維材料帶來的環境污染,而且金屬基板線路層采用的是電鍍方法,能夠真正做到高密度線路的設計和制造。

本實用新型的目的是這樣實現的:一種單基島露出型單圈多芯片倒裝封裝結構,它包括基島、引腳和芯片,所述芯片有多個,所述多個芯片倒裝于基島和引腳正面,所述芯片底部與基島和引腳正面之間設置有底部填充膠,所述基島外圍的區域、基島和引腳之間的區域、引腳與引腳之間的區域、基島和引腳上部的區域、基島和引腳下部的區域以及芯片外均包封有塑封料,所述基島和引腳下部的塑封料表面上開設有小孔,所述小孔與基島或引腳背面相連通,所述小孔內設置有金屬球,所述金屬球與基島或引腳背面相接觸。

所述金屬球與基島或引腳背面之間設置有金屬保護層。

所述基島包括基島上部、基島下部和中間阻擋層,所述基島上部和基島下部均由單層或多層金屬電鍍而成,所述中間阻擋層為鎳層、鈦層或銅層。

所述引腳包括引腳上部、引腳下部和中間阻擋層,所述引腳上部和引腳下部均由單層或多層金屬電鍍而成,所述中間阻擋層為鎳層、鈦層或銅層。

與現有技術相比,本實用新型具有以下有益效果:

1、本實用新型不需要使用玻璃纖維層,所以可以減少玻璃纖維層所帶來的成本;

2、本實用新型沒有使用玻璃纖維層的發泡物質,所以可靠性的等級可以再提高,相對對封裝體的安全性就會提高;

3、本實用新型不需要使用玻璃纖維層物質,所以就可以減少玻璃纖維材料所帶來的環境污染;

4、本實用新型的二維金屬基板線路層所采用的是電鍍方法,而電鍍層的總厚度約在10~15μm,而線路與線路之間的間隙可以輕松的達到25μm以下的間隙,所以可以真正地做到高密度內引腳線路平鋪的技術能力;

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