[實(shí)用新型]單基島埋入型多圈單芯片倒裝無(wú)源器件封裝結(jié)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201220204400.0 | 申請(qǐng)日: | 2012-05-09 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN202564313U | 公開(kāi)(公告)日: | 2012-11-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王新潮;李維平;梁志忠 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江蘇長(zhǎng)電科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L23/495 | 分類號(hào): | H01L23/495;H01L23/31 |
| 代理公司: | 江陰市同盛專利事務(wù)所 32210 | 代理人: | 唐紉蘭 |
| 地址: | 214434 江蘇省*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 單基島 埋入 型多圈單 芯片 倒裝 無(wú)源 器件 封裝 結(jié)構(gòu) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種單基島埋入型多圈單芯片倒裝無(wú)源器件封裝結(jié)構(gòu)。屬于半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
傳統(tǒng)的高密度基板封裝結(jié)構(gòu)的制造工藝流程如下所示:
步驟一、參見(jiàn)圖3,取一玻璃纖維材料制成的基板,
步驟二、參見(jiàn)圖4,在玻璃纖維基板上所需的位置上開(kāi)孔,
步驟三、參見(jiàn)圖5,在玻璃纖維基板的背面披覆一層銅箔,
步驟四、參見(jiàn)圖6,在玻璃纖維基板打孔的位置填入導(dǎo)電物質(zhì),
步驟五、參見(jiàn)圖7,在玻璃纖維基板的正面披覆一層銅箔,
步驟六、參見(jiàn)圖8,在玻璃纖維基板表面披覆光阻膜,
步驟七、參見(jiàn)圖9,將光阻膜在需要的位置進(jìn)行曝光顯影開(kāi)窗,
步驟八、參見(jiàn)圖10,將完成開(kāi)窗的部分進(jìn)行蝕刻,
步驟九、參見(jiàn)圖11,將基板表面的光阻膜剝除,
步驟十、參見(jiàn)圖12,在銅箔線路層的表面進(jìn)行防焊漆(俗稱綠漆)的披覆,
步驟十一、參見(jiàn)圖13,在防焊漆需要進(jìn)行后工序的裝片以及打線鍵合的區(qū)域進(jìn)行開(kāi)窗,
步驟十二、參見(jiàn)圖14,在步驟十一進(jìn)行開(kāi)窗的區(qū)域進(jìn)行電鍍,相對(duì)形成基島和引腳,
步驟十三、完成后續(xù)的裝片、打線、包封、切割等相關(guān)工序。
上述傳統(tǒng)高密度基板封裝結(jié)構(gòu)存在以下不足和缺陷:
1、多了一層的玻璃纖維材料,同樣的也多了一層玻璃纖維的成本;
2、因?yàn)楸仨氁玫讲AЮw維,所以就多了一層玻璃纖維厚度約100~150μm的厚度空間;
3、玻璃纖維本身就是一種發(fā)泡物質(zhì),所以容易因?yàn)榉胖玫臅r(shí)間與環(huán)境吸入水分以及濕氣,直接影響到可靠性的安全能力或是可靠性等級(jí);
4、玻璃纖維表面被覆了一層約50~100μm的銅箔金屬層厚度,而金屬層線路與線路的蝕刻距離也因?yàn)槲g刻因子的特性只能做到50~100μm的蝕刻間隙(蝕刻因子:?最好制做的能力是蝕刻間隙約等同于被蝕刻物體的厚度,參見(jiàn)圖15),所以無(wú)法真正的做到高密度線路的設(shè)計(jì)與制造;
5、因?yàn)楸仨氁褂玫姐~箔金屬層,而銅箔金屬層是采用高壓粘貼的方式,所以銅箔的厚度很難低于50μm的厚度,否則就很難操作如不平整或是銅箔破損或是銅箔延展移位等等;
6、也因?yàn)檎麄€(gè)基板材料是采用玻璃纖維材料,所以明顯的增加了玻璃纖維層的厚度100~150μm,無(wú)法真正的做到超薄的封裝;
7、傳統(tǒng)玻璃纖維加貼銅箔的工藝技術(shù)因?yàn)椴馁|(zhì)特性差異很大(膨脹系數(shù)),在惡劣環(huán)境的工序中容易造成應(yīng)力變形,直接的影響到元件裝載的精度以及元件與基板粘著性與可靠性。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足,提供一種單基島埋入型多圈單芯片倒裝無(wú)源器件封裝結(jié)構(gòu),其工藝簡(jiǎn)單,不需使用玻璃纖維層,減少了制作成本,提高了封裝體的安全性和可靠性,減少了玻璃纖維材料帶來(lái)的環(huán)境污染,而且金屬基板線路層采用的是電鍍方法,能夠真正做到高密度線路的設(shè)計(jì)和制造。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種單基島埋入型多圈單芯片倒裝無(wú)源器件封裝結(jié)構(gòu),它包括基島、引腳和芯片,所述芯片倒裝于基島正面和引腳正面,所述芯片底部與基島和引腳正面之間設(shè)置有底部填充膠,所述基島外圍的區(qū)域、基島和引腳之間的區(qū)域、引腳與引腳之間的區(qū)域、基島和引腳上部的區(qū)域、基島和引腳下部的區(qū)域以及芯片的外圍均包封有塑封料,所述引腳背面的塑封料上開(kāi)設(shè)有小孔,所述小孔與引腳背面相連通,所述小孔內(nèi)設(shè)置有金屬球,所述金屬球與引腳背面相接觸,?所述引腳與引腳之間通過(guò)導(dǎo)電粘結(jié)物質(zhì)跨接無(wú)源器件,所述無(wú)源器件可以跨接于引腳正面與引腳正面之間,也可以跨接于引腳背面與引腳背面之間,所述引腳有多圈。
在所述金屬球與引腳背面之間還設(shè)置有金屬保護(hù)層。
所述基島包括基島上部、基島下部和中間阻擋層,所述基島上部和基島下部均由單層或多層金屬電鍍而成,所述中間阻擋層為鎳層或鈦層或銅層。
所述引腳包括引腳上部、引腳下部和中間阻擋層,所述引腳上部和引腳下部均由單層或多層金屬電鍍而成,所述中間阻擋層為鎳層或鈦層或銅層。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型具有以下有益效果:
1、本實(shí)用新型不需要使用玻璃纖維層,所以可以減少玻璃纖維層所帶來(lái)的成本;
2、本實(shí)用新型沒(méi)有使用玻璃纖維層的發(fā)泡物質(zhì),所以可靠性的等級(jí)可以再提高,相對(duì)對(duì)封裝體的安全性就會(huì)提高;
3、本實(shí)用新型不需要使用玻璃纖維層物質(zhì),所以就可以減少玻璃纖維材料所帶來(lái)的環(huán)境污染;
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