[實(shí)用新型]用于電子加速器束流強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220204111.0
• 申請日: 2012-05-09
• 公開（公告）號: CN202649475U
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吾勤之;郭旗;劉偉鑫;王昆黍;喬文;陳友;徐導(dǎo)進(jìn);蔡楠;王海濤
• 申請（專利權(quán)）人: 上海精密計(jì)量測試研究所
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 上海航天局專利中心 31107
• 代理人: 金家山

1.一種用于電子加速器束流強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測的裝置，其特征在于，包括真空室，位于真空室內(nèi)的準(zhǔn)直器和探頭，向所述探頭提供高壓的高壓單元，以及收集所述探頭所產(chǎn)生次級電子的束流強(qiáng)度顯示系統(tǒng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子加速器束流強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測的裝置，其特征在于，所述真空室的真空度至少應(yīng)達(dá)到1×10^-2Pa。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子加速器束流強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測的裝置，其特征在于，所述探頭包括：至少兩個(gè)骨架，貫穿所述骨架的開口，覆蓋所述開口的金屬箔，與所述金屬箔電連接的導(dǎo)線。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于電子加速器束流強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測的裝置，其特征在于，所述骨架的材料是陶瓷，所述骨架的形狀是環(huán)形。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于電子加速器束流強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測的裝置，其特征在于：所述金屬箔的材料是鋁，所述金屬箔的厚度小于5μm；所述導(dǎo)線的材料為銅。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于電子加速器束流強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測的裝置，其特征在于，所述的金屬鋁箔通過導(dǎo)電膠與銅導(dǎo)線電連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于電子加速器束流強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測的裝置，其特征在于，所述骨架具有上、下槽，所述導(dǎo)線位于上槽引線槽內(nèi)，所述下槽為導(dǎo)流槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于電子加速器束流強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測的裝置，其特征在于：所述骨架的層數(shù)為6至20層；?骨架的厚度為1mm～2mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于電子加速器束流強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測的裝置，其特征在于，所述各層骨架由螺栓串連，所述骨架上的螺栓均至少為3個(gè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于電子加速器束流強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測的裝置，其特征在于，所述的高壓單元提供的高壓為100V～300V。