[實用新型]直拉單晶爐熱場升降裝置

有效

• 申請號: 201220201726.8
• 申請日: 2012-05-07
• 公開（公告）號: CN202610380U
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 徐勝;楊生凱
• 申請（專利權）人: 常州順風光電材料有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 路接洲

技術領域

本實用新型涉及直拉硅單晶爐的配件設計及制造技術領域，特別是一種直拉硅單晶爐熱場升降裝置。

背景技術

切氏直拉（Czochralski）法是制備硅單晶的主要方法之一。硅單晶爐設有一套熱場來控制爐內的溫度。在單晶拉制過程中，熱場一般是固定不動的。僅當單晶生長完畢打開爐蓋以后才能進行拆卸。在實際生產中，對于相同尺寸的坩堝和固定的熱場，初始投料量是一定的。但硅熔化完畢后，硅液的體積比固態硅的體積小，因此還有繼續投料的空間。這可以通過在裝料時將熱場抬起，當硅料完全融化時再將熱場放下。但由于熱場固定，空間有限，無法增加初始投料量。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：提供一種直拉硅單晶爐熱場升降裝置，用以解決初始投料量小的問題。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種直拉單晶爐熱場升降裝置，包括由絞輪、連接裝置以及定位器組成的多組，所述的絞輪焊接在爐蓋上，絞輪連接連接裝置，連接裝置穿過爐蓋和熱場的上沿與熱場壓環下方的定位器連接。

為了增加鋼絲繩運動的流暢性，降低鋼絲繩的磨損，本實用新型所述的絞輪由兩個以上的滑輪組成，絞輪上纏繞連接裝置。

進一步的說，本實用新型所述的連接裝置為桿或鋼索。

為了能夠平穩的調節熱場的升降以及水平，甭使用新型所述的絞輪、連接裝置以及定位器有3~5組。

本實用新型的有益效果是，解決了背景技術中存在的缺陷，該裝置結構簡單，使用方便，能夠使熱場在高溫下完好提升和下降，從而實現增加初始投料量的目的，提高生產效率。此外，本實用新型提及裝置不僅限于硅單晶熱場的升降，同時也適用于其他類似材料生長設備的熱場升降。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的優選實施例的結構示意圖；

圖中：1、鉸輪，2、連接桿，3、定位器，4、爐蓋，5、熱場。

具體實施方式

現在結合附圖和優選實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1所示的一種直拉單晶爐熱場升降裝置，包括由絞輪1、連接桿2以及定位器3組成的3組，所述的絞輪1焊接在爐蓋4上，絞輪1連接連接桿2，連接桿2穿過爐蓋4和熱場5的上沿與熱場壓環下方的定位器3連接。

絞輪1由兩個以上的滑輪組成，絞輪上纏繞連接桿，由于該結構是常規結構，所以圖中并沒有做出示意。

圖中的三個定位器可以用來固定熱場，同時調節水平。

在裝料前，將熱場通過連接桿使用定位器固定并調節水平。當裝料完畢，將熱場提升到高于硅料上平面，關閉爐蓋。當硅料完全熔化時，將熱場緩緩下降至與石墨加熱器牢固接觸。

以上說明書中描述的只是本實用新型的具體實施方式，各種舉例說明不對本實用新型的實質內容構成限制，所屬技術領域的普通技術人員在閱讀了說明書后可以對以前所述的具體實施方式做修改或變形，而不背離實用新型的實質和范圍。