[實用新型]一種大面積沉積金剛石膜的熱絲架有效
| 申請號: | 201220201458.X | 申請日: | 2012-05-06 | 
| 公開(公告)號: | CN202643836U | 公開(公告)日: | 2013-01-02 | 
| 發明(設計)人: | 魏俊俊;李成明;高旭輝;黑立富;呂反修 | 申請(專利權)人: | 北京科技大學 | 
| 主分類號: | C23C16/27 | 分類號: | C23C16/27;C23C16/44;C23C16/48 | 
| 代理公司: | 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401 | 代理人: | 皋吉甫 | 
| 地址: | 100083*** | 國省代碼: | 北京;11 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 大面積 沉積 金剛石 熱絲架 | ||
1.一種大面積沉積金剛石膜的熱絲架,包括左鉬電極(1),右鉬電極(2),帶凹槽銷釘(3),弧形槽(4),彈簧架(5),?外邊條(6),若干根長度相等的燈絲(7),支持桿(8)及彈簧(9),其特征在于:
所述左鉬電極(1)和右鉬電極(2)通過支持桿(8)固定;
左鉬電極(1)上等間距布置一排帶凹槽銷釘(3),凹槽口背對右鉬電極(2);右鉬電極(2)上具有弧型槽(4),弧型槽(4)與銷釘(3)分布規律相同,且弧型槽(4)底部與銷釘(3)的凹槽水平一致;
彈簧架(5)通過陶瓷絕緣片與右鉬電極(2)進行連接,整個彈簧架平面與水平呈30度夾角;
燈絲(7)一端套在帶凹槽銷釘(3)上,另一端跨過右鉬電極(2)后與彈簧(9)一端連接,彈簧(9)另一端通過鉤連接在外邊條(6)的相應孔上,外邊條(6)上的孔與弧型槽(4)和銷釘(3)分布規律相同。
2.一種大面積沉積金剛石膜的熱絲架,包括左鉬電極(1),右鉬電極(2),帶凹槽銷釘(3),弧形槽(4),彈簧架(5),?外邊條(6),若干根長度相等的燈絲(7),彈簧(9)及銅電極支柱(10),其特征在于:
所述左鉬電極(1)和右鉬電極(2)與四個帶水冷銅電極支柱(10)進行連接固定;
左鉬電極(1)上等間距布置一排帶凹槽銷釘(3),凹槽口背對右鉬電極(2);右鉬電極(2)上具有弧型槽(4),弧型槽(4)與銷釘(3)分布規律相同,且弧型槽(4)底部與銷釘(3)的凹槽水平一致;
彈簧架(5)通過陶瓷絕緣片與右鉬電極(2)進行連接,整個彈簧架平面與水平呈30度夾角;
燈絲(7)一端套在帶凹槽銷釘(3)上,另一端跨過右鉬電極(2)后與彈簧(9)一端連接,彈簧(9)另一端通過鉤連接在外邊條(6)的相應孔上,外邊條(6)上的孔與弧型槽(4)和銷釘(3)分布規律相同。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





