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[實用新型]一種大面積沉積金剛石膜的熱絲架有效

專利信息
申請號: 201220201458.X 申請日: 2012-05-06
公開(公告)號: CN202643836U 公開(公告)日: 2013-01-02
發明(設計)人: 魏俊俊;李成明;高旭輝;黑立富;呂反修 申請(專利權)人: 北京科技大學
主分類號: C23C16/27 分類號: C23C16/27;C23C16/44;C23C16/48
代理公司: 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401 代理人: 皋吉甫
地址: 100083*** 國省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 大面積 沉積 金剛石 熱絲架
【權利要求書】:

1.一種大面積沉積金剛石膜的熱絲架,包括左鉬電極(1),右鉬電極(2),帶凹槽銷釘(3),弧形槽(4),彈簧架(5),?外邊條(6),若干根長度相等的燈絲(7),支持桿(8)及彈簧(9),其特征在于:

所述左鉬電極(1)和右鉬電極(2)通過支持桿(8)固定;

左鉬電極(1)上等間距布置一排帶凹槽銷釘(3),凹槽口背對右鉬電極(2);右鉬電極(2)上具有弧型槽(4),弧型槽(4)與銷釘(3)分布規律相同,且弧型槽(4)底部與銷釘(3)的凹槽水平一致;

彈簧架(5)通過陶瓷絕緣片與右鉬電極(2)進行連接,整個彈簧架平面與水平呈30度夾角;

燈絲(7)一端套在帶凹槽銷釘(3)上,另一端跨過右鉬電極(2)后與彈簧(9)一端連接,彈簧(9)另一端通過鉤連接在外邊條(6)的相應孔上,外邊條(6)上的孔與弧型槽(4)和銷釘(3)分布規律相同。

2.一種大面積沉積金剛石膜的熱絲架,包括左鉬電極(1),右鉬電極(2),帶凹槽銷釘(3),弧形槽(4),彈簧架(5),?外邊條(6),若干根長度相等的燈絲(7),彈簧(9)及銅電極支柱(10),其特征在于:

所述左鉬電極(1)和右鉬電極(2)與四個帶水冷銅電極支柱(10)進行連接固定;

左鉬電極(1)上等間距布置一排帶凹槽銷釘(3),凹槽口背對右鉬電極(2);右鉬電極(2)上具有弧型槽(4),弧型槽(4)與銷釘(3)分布規律相同,且弧型槽(4)底部與銷釘(3)的凹槽水平一致;

彈簧架(5)通過陶瓷絕緣片與右鉬電極(2)進行連接,整個彈簧架平面與水平呈30度夾角;

燈絲(7)一端套在帶凹槽銷釘(3)上,另一端跨過右鉬電極(2)后與彈簧(9)一端連接,彈簧(9)另一端通過鉤連接在外邊條(6)的相應孔上,外邊條(6)上的孔與弧型槽(4)和銷釘(3)分布規律相同。

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