[實用新型]方形掩膜版玻璃基片平面度檢測儀有效

申請號：	201220200390.3	申請日：	2012-05-04
公開（公告）號：	CN202885758U	公開（公告）日：	2013-04-17
發明（設計）人：	應永偉;王華龍	申請（專利權）人：	上海申菲激光光學系統有限公司
主分類號：	G01B5/28	分類號：	G01B5/28
代理公司：	上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237	代理人：	鄭瑋
地址：	20161***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	方形掩膜版玻璃平面檢測
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【權利要求書】：

1.一種方形掩膜版玻璃基片平面度檢測儀，其特征在于，包括一個三角形工作臺面和一個圓盤，在所述工作臺面上分別安置三個圓座，每個圓座上安置一個能夠轉動的小鋼球，所述三個圓座分別設置于靠近所述三角形工作臺面的三條邊處，在所述三角形工作臺面的邊緣三角位置，均設有一小滾珠軸承固定座，所述圓盤與所述三個小滾珠軸承固定座滾動連接，所述圓盤中央設有一開口，所述開口的四個角上均設有安置方形玻璃基片的槽座，在所述工作臺面的中心位置下方設有一臺千分表。?

2.根據權利要求1所述的方形掩膜版玻璃基片平面度檢測儀，其特征在于，所述三個圓座與相對應的所述三個小滾珠軸承固定座均能夠分級調整，所述級為2或3或4。?

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