[實(shí)用新型]基于MEMS技術(shù)的鹽度檢測傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220193870.1 | 申請日： | 2012-05-03 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN202631448U | 公開（公告）日： | 2012-12-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃慶安;韓磊;殷剛毅 | 申請（專利權(quán)）人： | 東南大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01N22/00 | 分類號(hào)： | G01N22/00 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 214135 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 mems 技術(shù) 鹽度 檢測 傳感器 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種基于MEMS技術(shù)的鹽度檢測傳感器，其特征在于：該傳感器包括微波信號(hào)源（102）、環(huán)形電橋（101）、傳感電極（104）以及第一MEMS終端式微波功率傳感器（1031）和第二MEMS終端式微波功率傳感器（1032）；環(huán)形電橋（101）設(shè)有四個(gè)端口，即第一端口（1），第二端口（2），第三端口（3），第四端口（4）；
微波信號(hào)源（102）連接到環(huán)形電橋（101）的第一端口（1），傳感電極（104）連接到環(huán)形電橋（101）的第二端口（2），第一MEMS終端式微波功率傳感器（1031）和第二MEMS終端式微波功率傳感器（1032）分別連接到環(huán)形電橋（101）的第三端口（3）和第四端口（4）。?
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