[實用新型]單晶爐石墨坩堝提取裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220193563.3
• 申請日: 2012-04-28
• 公開（公告）號: CN202643890U
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 舟橋啟
• 申請（專利權(quán)）人: 上海漢虹精密機械有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 上海元一成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31268
• 代理人: 趙青

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及CZ法拉單晶爐石墨坩堝提取裝置。

背景技術(shù)

單晶硅一般采用CZ法生產(chǎn)。CZ法是依靠加熱器將石英坩堝內(nèi)的原料硅溶解，再將安裝在籽晶夾頭上的籽晶浸入溶液中。然后，使籽晶夾頭和石英坩堝相對逆向旋轉(zhuǎn)，同時提拉籽晶夾頭，使晶錠(單晶硅)按照所設(shè)定的直徑及長度生長的方法。使用時一般采用的是盛裝熔液的石英坩堝和盛放并支撐石英坩堝的石墨坩堝的雙重構(gòu)造。為防止石墨坩堝與其中盛放的石英坩堝因熱膨脹系數(shù)不同而發(fā)生破裂，石墨坩堝被縱向分成了幾部分，其形狀并不固定。在拉晶結(jié)束清掃熱場時，取出已使用過的石英坩堝后，多采用人力將分體式石墨坩堝取出。

拉晶結(jié)束后取出石墨坩堝時，如果是小型的熱場，即使采用人力也不算費力，但是近年熱場正在越來越大型化，用人力來對應(yīng)就變得越來越難了。另外，為了能夠讓包圍在石墨坩堝外周的加熱器高效加熱溶解石英坩堝內(nèi)盛放的原料硅，在加熱時盡量將石墨坩堝放置在加熱器內(nèi)部。石墨坩堝外表面和加熱器的內(nèi)表面之間的間隙很小。比如通常設(shè)定為只有12毫米左右。此外，通常坩堝軸的行程范圍只能滿足拉晶的最低需要，即確保到達拉晶用的裝料位置和化料位置等。

即使在如此有限的空間里，也能夠用工裝也可將分體式石墨坩堝(瓣狀)取出，但是，考慮到實際的使用情況，就會發(fā)現(xiàn)這些工裝很難在實際中廣泛使用、因為這些工裝的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、石墨坩堝掉落的危險性較高，存在各種問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種無石墨坩堝掉落的危險，能夠確保石墨坩堝周圍的充足空間實現(xiàn)取出，工裝的構(gòu)造簡單等的單晶爐石墨坩堝提取裝置。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型單晶爐石墨坩堝提取裝置，包括：連接桿；抓取臂，所述抓取臂設(shè)置在所述連桿的兩端，所述抓取臂與所述連接桿活動連接；托板，所述托板設(shè)置在所述抓取臂的非與所述連接桿連接的連接端。所述抓取臂的長度大于石墨坩堝托盤的底部至石英坩堝頂端的距離。所述連接桿的長度大于石墨坩堝的寬度。

本實用新型單晶爐石墨坩堝提取裝置抓取臂的構(gòu)造為可以開閉。工作時，將提取裝置移到單晶爐的上端，抓取臂打開，然后提取裝置向下移動到相應(yīng)位置，抓取臂關(guān)閉，托板托住搭肩，抓住石墨坩堝托盤后提升并取出。通過本實用新型中的熱場構(gòu)造，使用提取裝置取出石墨坩堝托盤和石墨坩堝。這樣的方式能縮短熱場冷卻時間3-4小時，提高生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1為本實用新型單晶爐石墨坩堝提取裝置張開示意圖；

圖2為本實用新型單晶爐石墨坩堝提取裝置工作示意圖；

本實用新型單晶爐石墨坩堝提取裝置及其使用方法附圖中附圖標(biāo)記說明：

1-抓取臂?????2-連接桿????3-石墨坩堝托盤

4-石墨坩堝???5-石英坩堝??6-托板

7-搭肩

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型單晶爐石墨坩堝提取裝置及其使用方法作進一步詳細說明。

如圖1、圖2所示，本實用新型單晶爐石墨坩堝提取裝置，包括：連接桿2，連接桿2的長度大于石墨坩堝4的寬度；設(shè)置在連接桿2兩端的抓取臂1，抓取臂1的長度大于石墨坩堝托盤3的底部至石英坩堝5頂端的距離；托板6設(shè)置在抓取臂1的非與連接桿2連接的連接端。

本實用新型單晶爐石墨坩堝提取裝置抓取臂的構(gòu)造為可以開閉。工作時，將提取裝置移到單晶爐的上端，抓取臂1打開，然后提取裝置向下移動到相應(yīng)位置，抓取臂1關(guān)閉，托板6托住搭肩7，抓住石墨坩堝托盤3后提升并取出。通過本實用新型中的熱場構(gòu)造，使用提取裝置取出石墨坩堝托盤3和石墨坩堝4。這樣的方式能縮短熱場冷卻時間3-4小時，提高生產(chǎn)效率。

以上已對本實用新型創(chuàng)造的較佳實施例進行了具體說明，但本實用新型并不限于實施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本實用新型創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請的范圍內(nèi)。