[實用新型]一種硅電力電子器件磨角機

有效

• 申請號: 201220186218.7
• 申請日: 2012-04-27
• 公開（公告）號: CN202572113U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 項衛光;李有康;徐偉;李曉明;張振芳
• 申請（專利權）人: 浙江正邦電力電子有限公司
• 主分類號: B24B37/025
• 分類號: B24B37/025;B24B37/34
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 林寶堂

技術領域

本實用新型涉及一種磨角機，尤其涉及一種硅電力電子器件磨角機。

背景技術

硅電力電子器件，如晶閘管、二極管等器件，它們的芯片形狀一般為圓形，當利用擴散等工藝完成內部PN結的構造后，由于其要承受很高的工作電壓，要對PN結的端面進行磨角處理，以增加空間電荷區寬度，減弱電場，提高器件的工作電壓和可靠性。原有的普通磨角機只是在電機軸上安裝一個磨角頭，工作人員手握芯片將其輕輕按在磨角頭上進行磨角，由于是手工操作，故磨角質量跟工作人員的技能密切相關，磨角質量時好時壞。而一般的自動磨角機只適合對有下鉬片的芯片進行磨角，對沒有鉬片支撐的硅片無法進行磨角，原因是硅片是一種很脆的材料，硅片無法安裝到一般的自動磨角機上，也不能磨，一磨就碎了。

發明內容

本實用新型主要解決原有采用手工操作進行磨角，磨角質量不太好把控的技術問題，同時解決現有自動磨角機只適合對有下鉬片的芯片進行磨角，對沒有鉬片支撐的硅片無法進行磨角，一磨就碎的技術問題；提供一種硅電力電子器件磨角機，其安裝硅片時不會損壞硅片，磨角時也大大減少硅片的破碎，提高磨角質量及成品率，自動化程度高。

本實用新型的上述技術問題主要是通過下述技術方案得以解決的：本實用新型包括機架、吸片頭和磨角頭，所述的機架上設有真空吸片裝置、吸片頭旋轉驅動裝置、磨角頭旋轉驅動裝置和研磨液噴射裝置，吸片頭和吸片頭旋轉驅動裝置相連，吸片頭內設有氣流通道，氣流通道的一端和所述的真空吸片裝置中的真空泵連通，氣流通道的另一端開口于吸片頭的吸面，磨角頭和磨角頭旋轉驅動裝置相連，所述的磨角頭設有內凹的球面形磨角面，磨角頭的球面形磨角面和吸片頭的吸面面對面安裝，所述的研磨液噴射裝置的研磨液噴嘴指向磨角頭的球面形磨角面。真空吸片裝置將吸片頭氣流通道中的空氣抽成真空，吸片頭通過這個吸力用其吸面吸住待磨硅片，吸片頭旋轉驅動裝置驅動吸片頭旋轉，磨角頭旋轉驅動裝置驅動磨角頭旋轉，然后吸片頭下降，待磨硅片和球面形磨角面接觸實現磨角，磨角時受研磨液噴射裝置的控制，從研磨液噴嘴流出的研磨液噴向球面形磨角面。本實用新型通過吸片頭吸住硅片完成硅片的安裝，確保硅片不會因安裝造成損壞，采用球面形磨角面對硅片進行磨角，再加研磨液，有效避免磨角時對硅片造成損壞，減少硅片的破碎，提高磨角質量及成品率，不用手工操作進行磨角，由機器自動完成，自動化程度高。

作為優選，所述的吸片頭旋轉驅動裝置包括電機，該電機轉軸和吸片頭相連。啟動電機，電機轉軸帶動吸片頭旋轉。

作為優選，所述的吸片頭外設有連接塊，所述的連接塊內設有空腔和通路，通路的一端開口于連接塊的一個側面并和所述的真空吸片裝置中的真空泵連通，通路的另一端和空腔連通，所述的吸片頭內的氣流通道包括相連通的縱通道和橫通道，縱通道和橫通道相連構成T字形，縱通道的一端開口于吸片頭的吸面，橫通道的兩端開口于吸片頭的側面并位于所述的空腔內，吸片頭內的氣流通道依次經空腔、通路和所述的真空泵連通。結構簡單且巧妙，能方便地將吸片頭內的氣流通道抽成真空，又有很好的密封性能。

作為優選，所述的連接塊內嵌裝有上密封圈和下密封圈，上密封圈和下密封圈分別位于空腔的上方和下方，上密封圈、下密封圈均位于吸片頭和連接塊之間。提高連接塊和吸片頭連接的密封程度，防止外界空氣流入連接塊的空腔內，確保吸片頭氣流通道內的真空度，從而使吸片頭能牢固地吸住待磨硅片。

作為優選，所述的機架上設有壓力調節裝置，壓力調節裝置和所述的吸片頭相連。待磨硅片和磨角頭接角時，其壓力大小由壓力調節裝置控制吸片頭的下降位置進行調節。壓力調節裝置可以由連接在機架上的鋼絲繩實現，接角時的壓力大小由鋼絲繩的拉力決定。

作為優選，所述的磨角頭旋轉驅動裝置包括電機及和該電機相連的磨角頭轉軸，磨角頭轉軸和磨角頭相連。電機驅動磨角頭轉軸旋轉，帶動磨角頭旋轉。

作為優選，所述的磨角頭的下方設有研磨液收集池，研磨液收集池通過管路和給所述的研磨液噴射裝置提供研磨液的儲液桶相連。磨角時噴出的研磨液流向研磨液收集池，再從研磨液收集池通過管路流到儲液桶，以供再次使用，形成研磨液循環利用系統，避免浪費，節約材料。

作為優選，所述的吸片頭和所述的磨角頭旋轉方向相同且旋轉速度相異。有效避免磨角時對硅片造成損壞，減少硅片的破碎，提高磨角質量及成品率。

作為優選，所述的磨角頭的轉速為260～360轉/分，吸片頭的轉速為100轉/分。進一步減少硅片破碎，提高磨角質量及成品率。