[實用新型]圖形化襯底及用于制作所述襯底的掩膜板有效
| 申請號： | 201220182082.2 | 申請日： | 2012-04-25 |
| 公開（公告）號： | CN202513200U | 公開（公告）日： | 2012-10-31 |
| 發明（設計）人： | 丁海生;李東昇;馬新剛;江忠永;張昊翔;李超;代迎偉;黃捷 | 申請（專利權）人： | 杭州士蘭明芯科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/20 | 分類號： | H01L33/20;G03F1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖形 襯底 用于 制作 掩膜板 | ||
【權利要求書】：
1.一種圖形化襯底，包括襯底和襯底表面的周期性圖形，其特征在于：所述周期性圖形由錐形或半球形或圓臺形或柱形及其表面的溝槽或凸起條紋組成。
2.根據權利要求1所述的圖形化襯底，其特征在于：所述錐形可以是圓錐形、三角錐形或多棱錐形。
3.根據權利要求1所述的圖形化襯底，其特征在于：所述溝槽或凸起條紋的截面圖形可以是半圓形、扇形、方形、三角形、多邊形中的至少一種。
4.根據權利要求1所述的圖形化襯底，其特征在于：所述周期性圖形的底部直徑為2-5μm，高度為1.5-5μm，圖形間距為3-10μm。
5.一種掩膜板，其特征在于：所述掩膜板包括由規則圖形和規則圖形邊緣的凹陷或凸起的圖案組成的周期性圖形。
6.根據權利要求5所述的掩膜板，其特征在于，所述規則圖形可以是圓形、三角形、正方形、長方形、平行四邊形、梯形或多邊形。
7.根據權利要求5所述的掩膜板，其特征在于，所述凹陷或凸起的圖案可以是半圓形、扇形、方形、三角形、多邊形中的至少一種。
8.根據權利要求5所述的掩膜板，其特征在于：所述周期性圖形的直徑為2-5μm，圖形間距為3-10μm。
9.根據權利要求5所述的掩膜板，其特征在于：所述掩膜板制作如權利要求1-4任一項所述的圖形化襯底。
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