[實用新型]太陽能電池板非晶硅膜均勻沉積專用裝置有效
| 申請號： | 201220180337.1 | 申請日： | 2012-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN202705463U | 公開（公告）日： | 2013-01-30 |
| 發明（設計）人： | 周慶明 | 申請（專利權）人： | 江蘇慶豐能源有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455;C23C16/24 |
| 代理公司： | 淮安市科文知識產權事務所 32223 | 代理人： | 謝觀素 |
| 地址： | 223700 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 太陽能 電池板 非晶硅膜 均勻 沉積 專用 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種太陽能電池板非晶硅膜均勻沉積專用裝置，包括:
一不銹鋼上方通管(2)，所述上方通管(2)橫截面呈上、中、下三層空間；
一不銹鋼下方通管(3)，所述下方通管(3)橫截面呈上、下兩層空間；
一中心鋁電極板(4)，所述中心鋁電極板(4)的一端安裝有一銅質電極桿(10)；
兩塊鋁質門板(5)，所述鋁質門板(5)安裝于裝置兩側；
兩塊堵頭板(11)，所述堵頭板(11)分別安裝于裝置兩端；
其特征在于：所述上方通管(2)和所述下方通管(3)的內端與裝置內待加工的電池片(17)放置區域之間均設有一金屬板(12)，所述金屬板（12）固定連接在所述鋁質門板(5)上，所述金屬板(12)的厚度與裝置內電池片(17)厚度一致。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池板非晶硅膜均勻沉積專用裝置，其特征在于：所述金屬板與待加工的電池片之間的間隙小于1毫米。
3.根據權利要求1或2所述的太陽能電池板非晶硅膜均勻沉積專用裝置，其特征在于：所述上方通管(2)和所述下方通管(3)的內端邊緣分別與所述金屬板的邊緣貼合于一起。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
