[實用新型]生長藍寶石單晶晶棒用生長室

有效

• 申請號: 201220180066.X
• 申請日: 2012-04-26
• 公開（公告）號: CN202558972U
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發明（設計）人: 石連升;徐靂
• 申請（專利權）人: 哈爾濱晶石光電技術有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B35/00
• 代理公司: 哈爾濱東方專利事務所 23118
• 代理人: 陳曉光

技術領域：

本實用新型涉及一種生長藍寶石單晶晶棒用生長室。

背景技術：

作為一種新型的半導體材料，藍寶石以其優良的物理化學特性和電特性成為制造短波長光電子器件、高溫器件、抗輻照器件和大功率/高額電子器件最重要的半導體材料。特別是在極端條件和惡劣條件下應用時，藍寶石器件的特性遠遠超過了Si器件和GaAs器件。因此，藍寶石器件和其各類傳感器已逐步成為關鍵器件之一，發揮著越來越重要的作用。但是藍寶石晶體的生長條件苛刻，需在2100℃以上保持高真空一周以上，且對籽晶質量、固定方式等也有很高要求。

發明內容：

本實用新型的目的是提供一種對于光伏太陽能產業具有積極推動作用的生長藍寶石單晶晶棒用生長室。

上述的目的通過以下的技術方案實現：

一種生長藍寶石單晶晶棒用生長室，其組成包括:帶有底座體的爐體，所述的爐體裝有氧化鋁空心磚，所述的氧化鋁空心磚連接隔熱屏，所述的隔熱屏連接保溫筒焊合，鎢棒插入所述的隔熱屏和所述的氧化鋁空心磚內,?所述的鎢棒連接鎢盤,?所述的鎢盤連接坩堝,?所述的隔熱屏上端連接大蓋,所述的爐體上端連接小蓋。

所述的生長藍寶石單晶晶棒用生長室，所述的隔熱屏包括下隔熱屏，所述的下隔熱屏連接內隔熱屏，所述的內隔熱屏連接上隔熱屏,?所述的上隔熱屏連接所述的大蓋，所述的上隔熱屏連接所述的保溫筒焊合。

有益效果：

1.本實用新型很好的解決了Al2O3單晶晶棒生長困難的問題，保證了藍寶石晶體的苛刻生長條件，為生產高質量藍寶石晶體提供了支持。

本實用新型解決了藍寶石晶體的苛刻生長條件，對于光伏太陽能產業具有積極推動作用。

附圖說明：

附圖1是本產品的結構示意圖。

具體實施方式：

實施例1：

一種生長藍寶石單晶晶棒用生長室，其組成包括:帶有底座體1的爐體2，所述的爐體裝有氧化鋁空心磚3，所述的氧化鋁空心磚連接隔熱屏，所述的隔熱屏連接保溫筒焊合7，鎢棒8插入所述的隔熱屏和所述的氧化鋁空心磚內,?所述的鎢棒連接鎢盤9,?所述的鎢盤連接坩堝10,?所述的隔熱屏上端連接大蓋11,所述的爐體上端連接小蓋12。

實施例2：

實施例1所述的生長藍寶石單晶晶棒用生長室，所述的隔熱屏包括下隔熱屏4，所述的下隔熱屏連接內隔熱屏5，所述的內隔熱屏連接上隔熱屏6,?所述的上隔熱屏連接所述的大蓋，所述的上隔熱屏連接所述的保溫筒焊合。

實施例3：

實施例1或2所述的生長藍寶石單晶晶棒用生長室，它主要由九個部件組成，它包括：底座體，爐體，氧化鋁空心磚，下隔熱屏，內隔熱屏，上隔熱屏，保溫筒焊合，鎢棒，鎢盤，坩堝，大蓋，小蓋。生長室內安裝有石墨加熱器、隔熱屏和為更高溫度下生長所需真空或惰性氣氛條件下所需的內部石墨裝置。電阻直流（DC）加熱系統加熱內部裝置和加熱坩堝到生長溫度，以生長碳化硅晶棒，同時通過電阻加熱器精確調整電力消耗，生長室內部配置用做隔熱和形成晶體生長所需的溫度梯度的坩堝。主要材料是不銹鋼。

工作過程：

生長室用于安裝生長單晶的熱系統、石英坩堝和多晶硅原料等。底盤固定在底座平面上，其中心孔是坩堝軸的定位基準，孔下端與坩堝軸驅動裝置。爐體與底座用6個不同規格螺栓連接，底層裝有氧化鋁空心磚，在上層裝有下隔熱屏，通過中心孔裝有鎢棒，鎢盤與鎢棒相連接，在鎢盤上裝有坩堝，坩堝用坩堝蓋密封，坩堝左右放有內隔熱屏，上部放有上隔熱屏，在爐體的上部有大蓋和小蓋，蓋上帶有孔槽用來與其他部位連接。