[實用新型]用于硅片制絨的化學處理槽裝置有效
| 申請號： | 201220177764.4 | 申請日： | 2012-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN202643918U | 公開（公告）日： | 2013-01-02 |
| 發明（設計）人： | 楊華;余義;宋光華;李莊 | 申請（專利權）人： | 上澎太陽能科技(嘉興)有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;C23F1/08 |
| 代理公司： | 上海勝康律師事務所 31263 | 代理人： | 李獻忠 |
| 地址： | 314031 浙江省嘉興*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 硅片 化學 處理 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其包括化學處理內槽，所述內槽底部設置有加熱器，其特征在于，所述內槽連接一外槽。
2.根據權利要求1所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述內槽和所述外槽為一整體。
3.根據權利要求1所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述內槽和所述外槽通過管道連通。
4.根據權利要求3所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述管道上設置有循環泵。
5.根據權利要求3所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述管道上還設置有一過濾器。
6.根據權利要求3所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述管道設置有液體排出口，所述排出口位于所述內槽中。
7.根據權利要求6所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述液體排出口為兩個。
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