[實用新型]一種罐體平行排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設備

有效

• 申請號: 201220175214.9
• 申請日: 2012-04-23
• 公開（公告）號: CN202744508U
• 公開（公告）日: 2013-02-20
• 發明（設計）人: 張磊
• 申請（專利權）人: 沈陽光遠新能源科技有限公司
• 主分類號: C10M175/00
• 分類號: C10M175/00;C01B31/36;C08L71/08;C08J11/06
• 代理公司: 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001
• 代理人: 任玉龍

技術領域

本實用新型涉及機電一體化設備領域，特別涉及了一種罐體平行排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設備。?

背景技術

目前，硅片線切割工藝的現狀，為了保證切割質量，切割工藝中使用的砂漿基本都是極少的重復使用，切割使用后的廢棄砂漿直接作為工業廢棄物堆積處理，或者委托專業處理廠對使用過的砂漿進行處理，無論以上那種方式，都會造成極大浪費，產生較大成本，因此，實現砂漿的回收再利用是硅片生產企業降低生產成本的有效途徑，需要合理的設備，現有設備結構復雜，布局松散，占地面積大。?

實用新型內容

本實用新型的目的是為了減小設備占地面積，合理布局，特提供了一種罐體平行排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設備。?

本實用新型提供了一種罐體平行排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設備，其特征在于：所述的罐體平行排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設備，包括二號分離機1，五號罐2，六號罐3，傳輸泵4，四號罐5，給料泵6，電控柜7，一號分離機8，一號罐9，二號罐10，三號罐11；?

其中：一號分離機8水平擺放在整個設備正面，將二號分離機?1垂直擺放在整個設備左側；將一號罐9、二號罐10和三號罐11擺放在四號罐5、五號罐2和六號罐3的側面，減少了占地面積，電控柜的功能為對整套設備進行供電及控制。1#罐功能為調和罐。2#罐為存貯罐。電控柜7安裝在設備一端，電控柜7分別一號分離機8和二號分離機1相連，二號罐10與二號分離機1相連，二號分離機1再與三號罐11相連，三號罐11功能為存貯罐，四號罐5功能為存儲罐，四號罐5與一號分離機8及一號罐9相連，五號罐2為調和罐，五號罐2與一號罐9相連，六號罐3為存儲罐，與一號罐9相連，給料泵6與四號罐5相連。?

所述的一號分離機8為臥式螺旋沉降離心機。?

所述的二號分離機1為臥式螺旋沉降離心機。?

工作原理：?

切片機產生的廢舊砂漿，經一號分離機的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經二號分離機的分離后，產生回收的液相和回收固相，對回收固相進行再處理；?

一次分離產生回收的粗粉，與新配置的砂漿、二次分離后產生回收的液相三者混合處理，形成新的可利用的砂漿，用于切片機使用。?

罐體之間的平行布局，減小了設備整體尺寸，減小了使用時的占地面積，為企業帶來了布局上的方便。?

本實用新型的優點：?

本實用新型所述的罐體平行排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設備，用于分離和回收硅片切割工藝中所產生的廢砂漿，同時亦?適用于半導體芯片、水晶、鉆石等行業的廢液回收利用。硅片切割廢液中，PEG、SiC的回收率可達80%以上，硅片切割廢砂漿在線回收設備與線切割機可采用1：4或1：5配置。有效地避免了浪費，降低了企業的生產成本，同時在布局上更加合理，減小了占地面積。?

附圖說明

下面結合附圖及實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明：?

圖1為罐體平行排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設備的原理結構示意圖；?

圖2為罐體平行排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設備的俯視圖。?

具體實施方式

實施例?

本實施例提供了一種罐體平行排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設備，其特征在于：所述的罐體平行排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設備，包括二號分離機1，五號罐2，六號罐3，傳輸泵4，四號罐5，給料泵6，電控柜7，一號分離機8，一號罐9，二號罐10，三號罐11；?

其中：一號分離機8水平擺放在整個設備正面，將二號分離機1垂直擺放在整個設備左側；將一號罐9、二號罐10和三號罐11擺放在四號罐5、五號罐2和六號罐3的側面，減少了占地面積，電控柜的功能為對整套設備進行供電及控制。1#罐功能為調和罐。2#罐為存貯罐。電控柜7安裝在設備一端，電控柜7分別一號分離機8和二?號分離機1相連，二號罐10與二號分離機1相連，二號分離機1再與三號罐11相連，三號罐11功能為存貯罐，四號罐5功能為存儲罐，四號罐5與一號分離機8及一號罐9相連，五號罐2為調和罐，五號罐2與一號罐9相連，六號罐3為存儲罐，與一號罐9相連，給料泵6與四號罐5相連。?

所述的一號分離機8為臥式螺旋沉降離心機。?

所述的二號分離機1為臥式螺旋沉降離心機。?

工作原理：?

切片機產生的廢舊砂漿，經一號分離機的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經二號分離機的分離后，產生回收的液相和回收固相，對回收固相進行再處理；?