[實用新型]三軸磁傳感器

有效

• 申請號: 201220174616.7
• 申請日: 2012-04-23
• 公開（公告）號: CN202548308U
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 蔣樂躍;劉海東;蔡永耀;趙陽;張俊德
• 申請（專利權）人: 美新半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: G01R33/02
• 分類號: G01R33/02
• 代理公司: 無錫互維知識產權代理有限公司 32236
• 代理人: 王愛偉

1.一種三軸磁傳感器，其包括有襯底層，其特征在于，其中所述襯底層沿X和Y軸方向上分別設置有夾角分別為θ₁和θ₂的第一、第二斜坡，所述第一斜坡上沿斜坡傾斜的方向上設置有第一傳感器單元S₁，所述第二斜坡上沿斜坡傾斜的方向上設置有第二傳感器單元S₂，所述第一傳感器單元和第二傳感器單元分別感應水平方向以及豎直方向上的磁信號并輸出探測值，從而完成對X、Y及Z軸三個方向上的磁信號的探測。

2.如權利要求1所述的三軸磁傳感器，其特征在于，其中θ₁角度范圍是15～75度。

3.如權利要求1所述的三軸磁傳感器，其特征在于，其中θ₂角度范圍是15～75度。

4.如權利要求1所述的三軸磁傳感器，其特征在于，其中θ₁＝θ₂＝θ。

5.如權利要求4所述的三軸磁傳感器，其特征在于，其通過以下公式計算第一傳感器單元和第二傳感器單元在各軸方向上的輸出：

S_1xout＝B_x*cosθ；S_2yout＝B_y*cosθ；S_1zout＝-B_z*sinθ；S_2zout＝-B_z*sinθ；

其中環境中X、Y及Z軸三軸方向的磁場分別為B_x，B_y，B_z。

6.如權利要求5所述的三軸磁傳感器，其特征在于，其通過以下公式計算得出探測到的磁場數值：

B_x＝S_1xout/cosθ；B_y＝S_2yout/cosθ；B_z＝(-S_1zout-S₂zout)/cosθ/2。

7.如權利要求1所述的三軸磁傳感器，其特征在于，其中所述第一傳感器單元是感應X軸方向上的磁信號。

8.如權利要求1所述的三軸磁傳感器，其特征在于，其中所述第二傳感器單元是感應Y軸方向上的磁信號。

9.如權利要求1所述的三軸磁傳感器，其特征在于，其中所述襯底層上設置有兩個相對設置的第一斜坡，每個斜坡上均設置有第一傳感器單元。

10.如權利要求1所述的三軸磁傳感器，其特征在于，其中所述襯底層上設置有兩個相對設置的第二斜坡，每個斜坡上均設置有第二傳感器單元。