[實用新型]用于處理四氯化硅氫化副產物的設備有效
| 申請號： | 201220173575.X | 申請日： | 2012-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN202988744U | 公開（公告）日： | 2013-06-12 |
| 發明（設計）人： | 張升學;嚴大洲;肖榮暉;毋克力;湯傳斌;楊永亮;萬燁 | 申請（專利權）人： | 中國恩菲工程技術有限公司;洛陽中硅高科技有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100038*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 處理 氯化 氫化 副產物 設備 | ||
1.一種用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，包括：
氣固分離裝置，所述氣固分離裝置用于對四氯化硅氫化副產物進行氣固分離；以及
熱交換裝置，所述熱交換裝置與所述氣固分離裝置相連。
2.根據權利要求1所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，進一步包括：
氫化反應裝置，所述氫化反應裝置用于對四氯化硅進行氫化處理；以及
固體顆粒返回管路，所述固體顆粒返回管路分別與所述氣固分離裝置和氫化反應裝置相連。
3.根據權利要求1所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，所述氣固分離裝置為旋風分離器。
4.根據權利要求1所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，進一步包括陶瓷過濾器，所述陶瓷過濾器分別與所述氣固分離裝置和熱交換裝置相連。
5.根據權利要求4所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，所述陶瓷過濾器的孔徑為600-1500目。
6.根據權利要求1所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，進一步包括：冷凝裝置，所述冷凝裝置與所述熱交換裝置相連。
7.根據權利要求1所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，進一步包括加熱裝置，所述加熱裝置與所述氫化反應裝置相連。
8.根據權利要求7所述的用于處理四氯化硅氫化副產物的設備，其特征在于，進一步包括：
第二氣體混合物輸送管道，所述第二氣體混合物輸送管道分別與所述熱交換裝置和所述加熱裝置相連。?
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