[實用新型]一種投影光學(xué)系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220171238.7 | 申請日： | 2012-04-21 |
| 公開（公告）號： | CN202512297U | 公開（公告）日： | 2012-10-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 張家港鵬博光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B27/18 | 分類號： | G02B27/18;G02B13/22;G02B13/00 |
| 代理公司： | 張家港市高松專利事務(wù)所(普通合伙) 32209 | 代理人： | 祁凱娟 |
| 地址： | 215600 江蘇省蘇州市張家*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 投影 光學(xué)系統(tǒng) | ||
1.一種投影光學(xué)系統(tǒng)，用于將物平面內(nèi)的圖形成像到像平面內(nèi)，所述投影光學(xué)系統(tǒng)沿其光軸方向包括前組、孔徑光闌和后組，其特征在于：所述前組包括第一鏡組、第二鏡組和第三鏡組，所述第一鏡組和第三鏡組具有正光焦度，所述第二鏡組具有負(fù)光焦度，所述第二鏡組位于所述第一鏡組和第三鏡組之間，所述第一鏡組位于所述物平面和第二鏡組之間；所述后組包括第四鏡組、第五鏡組和第六鏡組，所述第四鏡組和第六鏡組具有正光焦度，所述第五鏡組具有負(fù)光焦度，所述第五鏡組位于所述第四鏡組和第六鏡組之間，所述第六鏡組位于所述像平面和第五鏡組之間；所述前組和后組關(guān)于所述孔徑光闌對稱，所述的投影光學(xué)系統(tǒng)滿足：
關(guān)系式1：0.2＜f1/fa＜1.4；
關(guān)系式2：-0.4＜f2/fa＜-0.06；
關(guān)系式3：0.12＜f3/fa＜0.6，
其中，f1：第一鏡組的組合焦距；f2：第二鏡組的組合焦距；f3：第三鏡組的組合焦距；fa：前組的組合焦距。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述第一鏡組包括第一透鏡和第二透鏡，所述第一透鏡和第二透鏡均為雙凸透鏡。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述第二鏡組包括第三透鏡和第四透鏡，所述第三透鏡具有負(fù)光焦度，所述第三透鏡包括一個面向所述像平面的凹面；所述第四透鏡具有負(fù)光焦度，所述第四透鏡包括一個面向所述物平面的凹面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述第三鏡組包括第五透鏡和第六透鏡，所述第五透鏡具有正光焦度，所述第六透鏡具有正光焦度。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述的投影光學(xué)系統(tǒng)滿足：
關(guān)系式4：-2.0＜r1/r2＜-0.5；
關(guān)系式5：1.0＜r3/r2＜2.0，
其中，r1：所述第三透鏡的凹面的曲率半徑；r2：所述第四透鏡的凹面的曲率半徑；r3：第三鏡組的曲面中的絕對值最小的曲率半徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述投影光學(xué)系統(tǒng)中的透鏡數(shù)量大于等于10，且小于等于20。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述第一鏡組的透鏡中最少有2個曲面的曲率半徑的絕對值相等。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述前組的組合后焦點位于所述孔徑光闌的中心，所述后組的組合前焦點位于所述孔徑光闌的中心。
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