[實用新型]一種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220169285.8
• 申請日: 2012-04-19
• 公開（公告）號: CN202658227U
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張明
• 申請（專利權(quán)）人: 彩虹(佛山)平板顯示有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;G01N21/88
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 田洲

1.一種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，其特征在于，包括裝載腔室(1)，裝載腔室(1)的入口(2)的上方設(shè)有若干CCD鏡頭裝置(3)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，其特征在于，所述若干CCD鏡頭裝置(3)排列成一排。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，其特征在于，所述CCD鏡頭裝置(3)設(shè)置于入口(2)上方10cm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，其特征在于，入口(2)下方設(shè)置有LED光源(4)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，其特征在于，所述CCD鏡頭裝置(3)還連接有顯示裝置。