[實用新型]應用于步進光刻設備中的阻尼系統

有效

• 申請號: 201220169254.2
• 申請日: 2012-04-19
• 公開（公告）號: CN202661774U
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 彭紹輝
• 申請（專利權）人: 彩虹(佛山)平板顯示有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 田洲

1.一種應用于步進光刻設備中的阻尼系統，其特征在于，包括光學元件(1)、內部支架(2)、第一阻尼環(3)和第二阻尼環(4)；光學元件(1)固定在內部支架(2)上；內部支架(2)設置于第一阻尼環(3)上，第一阻尼環(3)設置于第二阻尼環(4)上；第二阻尼環(4)的頂部設有環形凸起(6)，第一阻尼環(3)的底部設有容納環形凸起(6)的環形槽(7)，環形凸起(6)與環形槽(7)之間形成間隙(5)。

2.根據權利要求1所述的一種應用于步進光刻設備中的阻尼系統，其特征在于，間隙(5)包括環形凸起(6)與環形槽(7)的兩個內壁之間形成的第一側環形間隙和第二側環形間隙。

3.根據權利要求2所述的一種應用于步進光刻設備中的阻尼系統，其特征在于，第一側環形間隙和第二側環形間隙通過貫穿環形凸起(6)的通孔連通。

4.根據權利要求2所述的一種應用于步進光刻設備中的阻尼系統，其特征在于，第一側環形間隙和第二側環形間隙內充有阻尼流體。

5.根據權利要求2至4中任一項所述的一種應用于步進光刻設備中的阻尼系統，其特征在于，第一阻尼環(3)和第二阻尼環(4)之間設置有捕獲井(8)。