[實用新型]一種氮氣分壓調節裝置有效
| 申請號： | 201220167016.8 | 申請日： | 2012-04-18 |
| 公開（公告）號： | CN202548650U | 公開（公告）日： | 2012-11-21 |
| 發明（設計）人： | 鐘家湘;劉清 | 申請（專利權）人： | 北京精微高博科學技術有限公司 |
| 主分類號： | G05D7/06 | 分類號： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京輕創知識產權代理有限公司 11212 | 代理人： | 楊立 |
| 地址： | 100055 北京市西*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氮氣 調節 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種氮氣分壓調節裝置，其特征在于：包括氮氣質量流量控制器(1)、氦氣質量流量控制器(2)及混氣罐(3)，所述混氣罐(3)的一端與所述氮氣質量流量控制器(1)相連通，另一端與所述氦氣質量流量控制器(2)相連通。
2.根據權利要求1所述的氮氣分壓調節裝置，其特征在于：所述混氣罐(3)為圓柱形混氣罐。
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