[實用新型]一種多晶硅還原爐有效
| 申請號: | 201220166234.X | 申請日: | 2012-04-19 |
| 公開(公告)號: | CN202519036U | 公開(公告)日: | 2012-11-07 |
| 發明(設計)人: | 常青 | 申請(專利權)人: | 常青 |
| 主分類號: | C01B33/021 | 分類號: | C01B33/021 |
| 代理公司: | 沈陽杰克知識產權代理有限公司 21207 | 代理人: | 李宇彤 |
| 地址: | 112399 遼寧省鐵嶺*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多晶 還原 | ||
【權利要求書】:
1.一種多晶硅還原爐,它包括底盤(1)、底盤冷卻水出口(2)、底盤冷卻水進口(3)、物料進口(4)、夾套出水口(5)、夾套進水口(6),視鏡口(7)、鐘罩(8)和硅棒(9),其特征在于:硅棒(9)共有48對,硅棒(9)同心圓形式安裝布置,分為五層均布,最內層為六個硅棒(9),依次為12、18、24、36個硅棒(9)。
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