[實用新型]SF6氣體回收裝置的氣路結構有效
| 申請號： | 201220155097.X | 申請日： | 2012-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN202674830U | 公開（公告）日： | 2013-01-16 |
| 發明（設計）人： | 史曉;譚陽 | 申請（專利權）人： | 常州埃依琦科技有限公司 |
| 主分類號： | F17D1/02 | 分類號： | F17D1/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213022 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | sf sub 氣體 回收 裝置 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種SF6氣體回收裝置的氣路結構，其特征在于：包括壓縮機、真空泵、無油真空泵、凈化器、換熱器、干燥活化器，所述壓縮機通過管路與凈化器連接，無油真空泵通過管路與干燥活化器連接，所述干燥活化器與換熱器連通，真空泵與換熱器連接，所述凈化器與真空泵連接。?
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