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[實用新型]硅片下棒工裝有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201220152606.3 申請日: 2012-04-11
公開(公告)號: CN202592576U 公開(公告)日: 2012-12-12
發(fā)明(設(shè)計)人: 王仁杰;王飛飛 申請(專利權(quán))人: 常州天合光能有限公司
主分類號: B28D7/04 分類號: B28D7/04
代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所 32211 代理人: 王凌霄
地址: 213031 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 硅片 工裝
【說明書】:

技術(shù)領(lǐng)域

實用新型涉及一種硅片下棒工裝,用于機臺上硅片切割完后卸載機臺上的晶托。

背景技術(shù)

機臺上的線鋸在切割完晶棒后,裝有晶棒的晶托通過機臺內(nèi)的兩個支架將晶棒拉出來。該兩個支架是裝在機臺工作臺前方兩個部位,如果兩個支架不在一條直線上,晃動或變型則容易導(dǎo)致掉片,影響產(chǎn)品的合格率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是:克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種硅片下棒工裝,減少晶棒下棒時易掉片的現(xiàn)象。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種硅片下棒工裝,用于卸載安裝在機臺工作臺上的晶托,包括機臺定位機構(gòu)、機臺連接滑軌,所述的機臺連接滑軌具有可伸入機臺工作臺的延伸頭部,機臺連接滑軌的延伸頭部與晶托燕尾槽相配合。

本實用新型的有益效果是:使用時,機臺連接滑軌的延伸頭部與晶托燕尾槽配合連接后將晶托拉出,從而不使用兩個支架,這樣既能解決下棒時引起卡棒現(xiàn)象,同時減少晶棒下棒時易掉片的現(xiàn)象,提高產(chǎn)品合格率。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;

其中:1.延伸頭部。

具體實施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的說明。這些附圖均為簡化的示意圖僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu),因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。

如圖1所示,一種硅片下棒工裝,用于卸載安裝在機臺工作臺上的晶托,包括機臺定位機構(gòu)、機臺連接滑軌,所述的機臺連接滑軌具有可伸入機臺工作臺的延伸頭部1,機臺連接滑軌的延伸頭部1與晶托燕尾槽相配合。

使用時,機臺連接滑軌的延伸頭部1與晶托燕尾槽配合連接后將晶托拉出,從而不使用兩個支架,這樣既能解決下棒時引起卡棒現(xiàn)象,同時減少晶棒下棒時易掉片的現(xiàn)象,提高產(chǎn)品合格率。

以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示,通過上述的說明內(nèi)容,相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi),進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容,必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。

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1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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