[實用新型]一種多晶硅尾氣平穩操作裝置有效
| 申請號： | 201220151934.1 | 申請日： | 2012-04-12 |
| 公開（公告）號： | CN202542874U | 公開（公告）日： | 2012-11-21 |
| 發明（設計）人： | 吳勁松;沈偉 | 申請（專利權）人： | 四川瑞能硅材料有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/03 | 分類號： | C01B33/03;B01D5/00;B01D46/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214 | 代理人： | 錢成岑;詹永斌 |
| 地址： | 620041 *** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 尾氣 平穩 操作 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶硅尾氣平穩操作裝置，包括緩沖罐，其特征在于：所述緩沖罐（1）頂部出口管道設置自動控制閥（3），所述緩沖罐（1）底部出口管道連接儲罐（4）。
2.如權利要求1所述的多晶硅尾氣平穩操作裝置，其特征在于：所述緩沖罐（1）和自動控制閥（3）之間設置流量計（2），所述流量計（2）與自動控制閥（3）邏輯串接。
3.如權利要求1所述的多晶硅尾氣平穩操作裝置，其特征在于：所述緩沖罐（1）上設置壓力傳感器（7），所述壓力傳感器（7）與自動控制閥（3）邏輯串接。
4.如權利要求1或2或3所述的多晶硅尾氣平穩操作裝置，其特征在于：所述緩沖罐（1）的內頂部設置有除沫器（5）。
5.如權利要求4所述的多晶硅尾氣平穩操作裝置，其特征在于：所述緩沖罐（1）的進口管道和自動控制閥（3）的出口管道還通過旁通管道連接，所述旁通管道上設置閥門（6）。
6.如權利要求5所述的多晶硅尾氣平穩操作裝置，其特征在于：所述閥門（6）為球閥。
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