[實用新型]一種微小物體表面積精密測量裝置

有效

• 申請號: 201220150848.9
• 申請日: 2012-04-11
• 公開（公告）號: CN202511769U
• 公開（公告）日: 2012-10-31
• 發明（設計）人: 趙鵬
• 申請（專利權）人: 東北林業大學
• 主分類號: G01B11/28
• 分類號: G01B11/28
• 代理公司: 哈爾濱市偉晨專利代理事務所(普通合伙) 23209
• 代理人: 張偉

1.一種微小物體表面積精密測量裝置，其特征在于包括圖像式位移測量系統、圖像式自動調焦瞄準系統；

所述圖像式位移測量系統包括能夠隨工作臺（6）在導軌（7）上運動的光學標尺（1），以及在光學標尺（1）上方，保持靜止狀態的縱向讀數CCD（2）和橫向讀數CCD（3），縱向讀數CCD（2）和橫向讀數CCD（3）感光面垂直于光軸，對光學標尺（1）準焦成像，得到的圖像數據經接口電路（16）輸送到計算機（17）進行處理；還包括配置在工作臺表面與導軌方向一致的測量角錐棱鏡（8）、分光鏡與參考鏡（9）以及雙頻激光器（10），雙頻激光器（10）發射的光束經分光鏡與參考鏡（9）入射到測量角錐棱鏡（8）后返回；

所述圖像式自動調焦瞄準系統包括瞄準CCD（4）、配置在瞄準CCD（4）下方、被測物（5）上方的環形光源（11），瞄準CCD同配置在其前方的成像光學系統相對靜止，并一起沿圖像式自動調焦瞄準系統光軸方向移動，使瞄準CCD（4）準焦接收來與導軌（7）方向平行放置的自被測物（5）表面的反射光線。

2.根據權利要求1所述的一種微小物體表面積精密測量裝置，其特征在于所述的光學標尺（1）為二維標尺。

3.根據權利要求1所述的一種微小物體表面積精密測量裝置，其特征在于所述的環形光源（11）的中心開有圓口且截面圖形為三角形，環形光源直徑為100mm，中間開口直徑為45mm，光源，截面三角形的頂角為116°，沿半徑方向等間距配置LED。

4.根據權利要求1所述的一種微小物體表面積精密測量裝置，其特征在于所述圖像式自動調焦瞄準系統還包括光源（12）、孔徑光闌（13）、調焦裝置（14）以及步進電機（15），光源（12）發射的光線經過孔徑光闌（13）以及相應光學系統調整后變成平行光，穿過工作臺（6）經成像光學系統由瞄準CCD（4）成像；得到的圖像經接口電路（16）輸送給計算機（17），并由計算機（17）驅動步進電機（15）控制調焦裝置（14），調整成像光學系統以及瞄準CCD（4）所組成的系統，使瞄準CCD（4）對被測物（5）準焦成像。