[實用新型]藍寶石襯底退火爐有效
| 申請號： | 201220150392.6 | 申請日： | 2012-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN202595343U | 公開（公告）日： | 2012-12-12 |
| 發明（設計）人： | 儲耀卿;石劍舫;王善建;石曉鑫;朱文超 | 申請（專利權）人： | 江蘇鑫和泰光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/02 | 分類號： | C30B33/02;C30B29/20;H01L21/324 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 藍寶石 襯底 退火爐 | ||
【權利要求書】：
1.一種藍寶石襯底退火爐，包括爐殼，其特征在于：所述的爐殼內壁除底部設置有加熱體，爐殼內腔設置有裝載晶片的工裝，所述的工裝同軸連接旋轉裝置，所述的旋轉裝置由爐殼內腔延伸至爐殼外部。
2.如權利要求1所述的藍寶石襯底退火爐，其特征在于：所述的旋轉裝置為旋轉手柄。
3.如權利要求1所述的藍寶石襯底退火爐，其特征在于：所述的加熱體為加熱電阻或加熱棒，所述的加熱體均勻分布在爐殼內壁上。
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