[實用新型]晶棒的粘棒裝置

有效

• 申請號: 201220141070.5
• 申請日: 2012-04-01
• 公開（公告）號: CN202592575U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 儲耀卿;石劍舫;王善建;石曉鑫;朱文超
• 申請（專利權）人: 江蘇鑫和泰光電科技有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 路接洲

技術領域

本實用新型涉及一種晶棒的粘棒裝置。?

背景技術

半導體照明產業技術發展的基石是襯底材料，目前能用于生產的襯底有藍寶石Al₂O₃襯底、碳化硅SiC襯底以及Si襯底。隨著以藍寶石為襯底的高亮度LED的應用范圍越來越廣，白光LED進入家庭將逐步取代傳統照明。LED發光材料GaN的外延生長對襯底的要求具有極強的方向性，不同方向的襯底外延生長的GaN薄膜結晶質量差異性較大，發光效率也各不相同，所以在LED襯底加工切割時，必須選擇合適的方向進行切割，尤其當幾根晶棒同時切割時，必須設計合適的工裝將晶向存在偏差的晶棒調整到晶向一致進行切割，而目前的切割多是單根晶棒切割來保證晶向，設備利用率差，產能低下，并且由于基座大多不堅硬，因此切割出來的晶棒參差不齊。?

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：提供一種晶棒的粘棒裝置?

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種晶棒的粘棒裝置，包括基座、擋板、定位螺絲、導軌、連接桿、千分表和滑塊，所述的擋板固定在所述的基座上，所述的定位螺絲安裝在所述的擋板上，所述導軌固定在所述的基座上，所述的滑塊安裝于在所述的導軌上，所述的千分表通過連接桿與所述的滑塊連接；所述的基座為形變小的金屬材質的長方體平臺，所述的金屬材質基座平臺為鑄鐵或者不銹鋼。?

本實用新型所述的擋板為形變小的鑄鐵或不銹鋼。?

本實用新型的有益效果是，解決了背景技術中存在的缺陷，能保證多根晶棒在粘棒時按需要方向進行粘棒，在晶棒線切割后，能準確保證切割需要的晶片晶向。?

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。?

圖1是本實用新型的優選實施例的結構示意圖；?

圖中：1、連接桿；2、滑塊；3、導軌；4、千分表；5、基座；6、擋板；7、定位螺絲。?

具體實施方式

現在結合附圖和優選實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。?

如圖1所示的一種晶棒的一種粘棒工裝，包括基座5、擋板6、定位螺絲7、導軌3、連接桿1、千分表4和滑塊2，兩塊擋板固定在基座上，基座為800mm×300mm×20mm的鑄鐵，擋板為800mm×150mm×20mm的不銹鋼，兩根處于基座同一平面且固定在基座上的導軌間距250mm，通過連接桿將千分表連接在導軌的滑塊上。?

8顆定位螺絲垂直安裝在擋板上，定位螺絲平行于基座。定位螺絲處于相同高度，帶有刻度，最小刻度為1微米，為螺旋測微器制備。?

以上說明書中描述的只是本實用新型的具體實施方式，各種舉例說明不對本實用新型的實質內容構成限制，所屬技術領域的普通技術人員在閱讀了說明?書后可以對以前所述的具體實施方式做修改或變形，而不背離實用新型的實質和范圍。?