[實用新型]導電結構、薄膜晶體管、陣列基板和顯示裝置有效
| 申請號： | 201220138478.7 | 申請日： | 2012-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN202678317U | 公開（公告）日： | 2013-01-16 |
| 發明（設計）人： | 鄭在紋;黃秋平;林盛實;金童燮;徐朝煥;徐華偉;陳正偉;薛建設 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/786 | 分類號： | H01L29/786;H01L29/45;H01L29/49 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 黃燦;姜精斌 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 導電 結構 薄膜晶體管 陣列 顯示裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種導電結構，其特征在于，包括：
由銅或銅合金形成的銅層；
用于阻擋所述銅層的銅離子向外擴散的阻擋層；
用于阻擋外部離子擴散至所述銅層的防擴散層，所述防擴散層設置在所述銅層與所述阻擋層之間。
2.如權利要求1所述的導電結構，其特征在于，所述阻擋層的材料為鉬合金，所述防擴散層的材料為鉬。
3.如權利要求1或2所述的導電結構，其特征在于，所述阻擋層的厚度為?至?所述防擴散層的厚度為?至?
4.一種薄膜晶體管，其特征在于，包括柵電極、源電極和漏電極，所述柵電極、源電極和漏電極中的至少一者采用權利要求1至3任一項所述的導電結構。
5.一種薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，包括：
基板；
形成在所述基板上的薄膜晶體管陣列、柵極線和數據線，所述薄膜晶體管陣列包括多個薄膜晶體管，所述薄膜晶體管包括柵電極、源電極和漏電極；
在由所述柵極線和所述數據線交叉界定出的像素區域還形成有像素電極；
其中，所述柵極線與對應的柵電極連接，所述數據線與對應的源電極連接，所述像素電極與對應的漏電極連接；
所述數據線、源電極、柵極線、柵電極和漏電極中的至少一者采用權利要求1至3任一項所述的導電結構。
6.一種顯示裝置，其特征在于，包括權利要求5所述的薄膜晶體管陣列基板。?
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