[實(shí)用新型]薄膜石英風(fēng)罩

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220135640.X
• 申請日: 2012-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN202534675U
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋偉宏;計(jì)斌;陸建國;沈根法
• 申請（專利權(quán)）人: 湖州奧博石英科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 湖州金衛(wèi)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 33232
• 代理人: 趙衛(wèi)康

1.薄膜石英風(fēng)罩，包括罩體（1）和與所述罩體（1）一體連接的罩口（2），其特征在于：所述罩體（1）是由多塊石英片拼接成的抽殼狀結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜石英風(fēng)罩，其特征在于：所述罩體（1）由八塊石英片構(gòu)成；所述八塊石英片中，四塊作為側(cè)板的石英片構(gòu)成所述罩體（1）的主體結(jié)構(gòu)，另四塊石英片形狀相同，位于所述主體結(jié)構(gòu)與所述罩口（2）之間，使得所述主體結(jié)構(gòu)與所述罩口（2）無縫拼接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜石英風(fēng)罩，其特征在于：所述罩體由十塊石英片構(gòu)成；所述十塊石英片中，有六塊石英片構(gòu)成罩體的主體結(jié)構(gòu)，其中四塊作為側(cè)板（11），另兩塊作為與所述罩口的銜接板（12）；所述十塊石英片中，另四塊石英片形狀相同，位于所述主體結(jié)構(gòu)與所述罩口（2）之間，使得所述主體結(jié)構(gòu)與所述罩口（2）無縫拼接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜石英風(fēng)罩，其特征在于：所述風(fēng)罩還包括邊框，所述邊框無縫拼接在所述罩體周向的緣口上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種薄膜石英風(fēng)罩，其特征在于：所述邊框是由四個(gè)條狀石英片構(gòu)成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜石英風(fēng)罩，其特征在于：所述風(fēng)罩還包括兩個(gè)固定座（3），所述固定座（3）連接在所述罩體（1）的同一端。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種薄膜石英風(fēng)罩，其特征在于：所述風(fēng)罩還包括兩個(gè)支撐件（4），每個(gè)所述的固定座（3）都連接有一個(gè)所述的支撐件（4）。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種薄膜石英風(fēng)罩，其特征在于：所述罩口（2）與所述銜接板（12）的角度為100～150°。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種薄膜石英風(fēng)罩，其特征在于：所述罩口（2）與所述銜接板（12）的角度為120～150°。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種薄膜石英風(fēng)罩，其特征在于：所述罩口（2）與所述銜接板（12）的角度為120～130°。