[實用新型]一種單晶硅生長熱場的新型保溫裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220134307.7
• 申請日: 2012-03-31
• 公開（公告）號: CN202543381U
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐旭輝;高彬彬
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇聚能硅業(yè)有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及單晶硅制造領(lǐng)域，具體來說是一種單晶硅生長熱場的新型保溫裝置。

背景技術(shù)

單晶硅是硅的單晶體，是一種比較活潑的非金屬元素，是晶體材料的重要組成部分。其主要用途是用作半導(dǎo)體材料和利用太陽能光伏發(fā)電、供熱等。

現(xiàn)有單晶硅在生產(chǎn)的時候采用直拉法制備，直拉晶體生長爐熱場設(shè)備制造不夠合理，往往會出現(xiàn)，石英坩堝變形，晶體在生長過程中不能有一個恒定的空間范圍，再者，現(xiàn)有的坩堝在加熱裝置的外層是一體式的保溫裝置，使設(shè)備的內(nèi)部存在較大的多余空間，從而增大保溫裝置所需要保溫的空間，達(dá)不到節(jié)約資源和合理使用的效果。

因此，特別需要一種單晶硅生長熱場的新型保溫裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中不能使晶體在恒定的空間范圍內(nèi)生長和設(shè)備內(nèi)部多余空間較大的問題，提供一種單晶硅生長熱場的新型保溫裝置來解決上述問題。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下：

一種單晶硅生長熱場的新型保溫裝置，包括設(shè)置在筒體內(nèi)的熱屏、坩堝支撐架、石英坩堝和石墨加熱筒，所述筒體的上端設(shè)置有開口，所述熱屏覆蓋在筒體的開口處，所述坩堝支撐架的一端設(shè)置在筒體的底部，另一端支撐在石英坩堝的底部，所述石墨加熱筒設(shè)置在筒體內(nèi)側(cè)壁和石英坩堝之間，其特征在于，還包括保溫裝置，所述的保溫裝置包含設(shè)置在筒體內(nèi)側(cè)壁上的上石墨保溫筒、中石墨保溫筒和下石墨保溫筒，所述上石墨保溫筒、中石墨保溫筒和下石墨保溫筒為分體式的結(jié)構(gòu)，所述上石墨保溫筒設(shè)置在中石墨保溫筒上，中石墨保溫筒設(shè)置在下石墨保溫筒上。

在本實用新型中，所述的保溫裝置還包含設(shè)置在筒體底部的防漏底盤和設(shè)置在防漏底盤上的防漏板。

在本實用新型中，所述石英坩堝的外側(cè)包裹有防止石英坩堝變形的石墨坩堝。

在本實用新型中，所述石英坩堝為U型的石英坩堝，所述石墨坩堝包裹在U型石英坩堝的外側(cè)。

在本實用新型中，所述坩堝支撐架包含石墨托盤、坩堝托盤和支撐柱，所述石墨托盤設(shè)置在石墨坩堝底部，坩堝托盤設(shè)置在石墨托盤底部，所述支撐柱的一端連接坩堝托盤，另一端連接到筒體的底部。

本實用新型的一種單晶硅生長熱場的新型保溫裝置，與現(xiàn)有產(chǎn)品相比，將原有整體的保溫筒分為上石墨保溫筒、中石墨保溫筒和下石墨保溫筒，達(dá)到了更好的保溫效果，通過在石英坩堝的外側(cè)設(shè)置石墨坩堝，達(dá)到了石英坩堝盡量小的變形的效果，使晶體生長過程中有個恒定的空間范圍，結(jié)構(gòu)簡單，十分實用，實現(xiàn)本實用新型的目的。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為使對本實用新型的結(jié)構(gòu)特征及所達(dá)成的功效有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)識，用以較佳的實施例及附圖配合詳細(xì)的說明，說明如下：

參見圖1，一種單晶硅生長熱場的新型保溫裝置，包括設(shè)置在起支撐作用的筒體100內(nèi)的用于保障溫度恒定的熱屏200、起支撐作用的坩堝支撐架300、用于放置晶體的石英坩堝400和石墨加熱筒500，筒體100的上端設(shè)置有開口110，熱屏200覆蓋在筒體100的開口110處，坩堝支撐架300的一端設(shè)置在筒體100的底部，另一端支撐在石英坩堝400的底部，起加熱作用的石墨加熱筒500設(shè)置在筒體100內(nèi)側(cè)壁和石英坩堝400之間，筒體100還包括保溫裝置600，保溫裝置600包含設(shè)置在筒體100內(nèi)側(cè)壁上的上石墨保溫筒610、中石墨保溫筒620和下石墨保溫筒630，上石墨保溫筒610、中石墨保溫筒620和下石墨保溫筒630為分體式的結(jié)構(gòu)，上石墨保溫筒610設(shè)置在中石墨保溫筒620上，中石墨保溫筒620設(shè)置在下石墨保溫筒630上，從而達(dá)到更好保溫的效果。

保溫裝置600還包含設(shè)置在筒體100底部的防漏底盤640和設(shè)置在防漏底盤640上的防漏板650，起到保溫的作用。

石英坩堝400的外側(cè)包裹有防止石英坩堝400變形的石墨坩堝700。

石英坩堝400為U型的石英坩堝400，石墨坩堝700包裹在U型石英坩堝400的外側(cè)。

坩堝支撐架300包含石墨托盤310、坩堝托盤320和支撐柱330，石墨托盤310設(shè)置在石墨坩堝700底部，坩堝托盤320設(shè)置在石墨托盤310底部，支撐柱330的一端連接坩堝托盤320，另一端連接到筒體100的底部，起到更好的支撐效果。