[實用新型]全光場偏振像差檢測裝置

有效

• 申請號: 201220130320.5
• 申請日: 2012-03-31
• 公開（公告）號: CN202693266U
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 曹紹謙;步揚;步鵬;王向朝;張敏;湯飛龍;李中梁
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種全光場偏振像差檢測裝置，該裝置包括全偏振態發生器、全偏振態分析器及信號處理和控制系統，其特征在于；

所述全偏振態發生器包括激光器（1）、激光擴束器（2）、起偏器（3）、第一法拉第旋轉器（4）、1/4波片（5）和第二法拉第旋轉器（6），所述全偏振態分析器包括補償器（8）、微偏振檢偏器陣列（9）及CCD探測器陣列（10），其位置關系是：沿該激光器（1）的激光輸出方向，依次是所述的激光擴束器（2）、起偏器（3）、第一法拉第旋轉器（4）、1/4波片（5）、第二法拉第旋轉器（6）所述的補償器（8）、微偏振檢偏器陣列（9）和CCD探測器陣列（10）；

所述微偏振檢偏器陣列（9）是由微偏振檢偏器超像素（901）的陣列組成，所述的微偏振檢偏器超像素（901）由0度線偏振微檢偏器（902）、45度線偏振微檢偏器（903）、90度線偏振微檢偏器（904）和135度線偏振微檢偏器（905）組成，所述的CCD探測器陣列（10）是由CCD探測器超像素（1001）的陣列組成的，所述CCD探測器陣列超像素（1001）是由四個相同的CCD探測器子像素組成；所述的微偏振檢偏器陣列（9）和所述的CCD探測器陣列（10）集成在一起，使所述的微偏振檢偏器超像素（901）陣列和CCD探測器超像素（1001）陣列一一對準，形成對準超像素陣列（901-1001）；

所述信號處理和控制系統包括放大器（11）、同步數據采集卡（12）、計算機（13）、第一偏壓控制器（14）和第二偏壓控制器（15）；

所述的CCD探測器陣列（10）經所述的放大器（11）、同步數據采集卡（12）與所述的計算機（13）的輸入端相連，所述計算機（13）的輸出端接所述的第一偏壓控制器（14）和第二偏壓控制器（15）的輸入端，所述的第一偏壓控制器（14）的輸出端接所述的補償器（8）的控制端，所述的第二偏壓控制器（15）的輸出端接所述的第一法拉第旋轉器（4）和第二法拉第旋轉器（6）的控制端。

2.根據權利要求1所述的全光場偏振像差檢測裝置，其特征在于：所述起偏器（3）為偏振片、偏振棱鏡或偏振相位掩模。

3.根據權利要求1所述的全光場偏振像差檢測裝置，其特征在于：所述第一法拉第旋轉器（4）和第二法拉第旋轉器（6）完全相同，且在所述第二偏壓控制器（15）的相同加載電壓條件下，產生兩個大小相同、方向相同或者方向相反且連續?可調的旋光角度。

4.根據權利要求1所述的全光場偏振像差檢測裝置，其特征在于：所述1/4波片（5）為晶體材料型1/4波片、多元復合型1/4波片、反射棱體型1/4波片或者雙折射薄膜型1/4波片，其相位延遲量的范圍為：89°～91°。

5.根據權利要求1所述的全光場偏振像差檢測裝置，其特征在于：所述補償器（8）為光彈調制器、液晶相位延遲器、鈮酸鋰晶體，在所述第一偏壓控制器（14）的加載電壓條件下產生連續可調相位延遲的光學元件或者器件。

6.根據權利要求1所述的全光場偏振像差檢測裝置，其特征在于：所述的同步數據采集卡（12）是具有A/D轉換功能的多通道高速數據采集卡。

7.根據權利要求1所述的全光場偏振像差檢測裝置，其特征在于：所述第一偏壓控制器（14）和第二偏壓控制器（15）是連續可調的直流穩壓電源。?