[實用新型]一種三氯氫硅合成爐余熱利用再生蒸汽裝置有效
| 申請號： | 201220127631.6 | 申請日： | 2012-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN202542873U | 公開（公告）日： | 2012-11-21 |
| 發明（設計）人： | 秦永紅;韓江濤;石如彥;陳建利;趙建橋;陳建祥 | 申請（專利權）人： | 河南尚宇新能源股份有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/03 | 分類號： | C01B33/03;F22B1/00 |
| 代理公司： | 鄭州紅元帥專利代理事務所(普通合伙) 41117 | 代理人： | 徐皂蘭 |
| 地址： | 454592 河*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 三氯氫硅 合成 余熱 利用 再生 蒸汽 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種三氯氫硅合成爐余熱利用再生蒸汽裝置，主要包括電加熱器（1），合成爐（2），設置在電加熱器（1）入口端的第一閥門（3），設在出口端的第二閥門（4）和三通閥（5），電加熱器（1）的入口端通過第一閥門（3）與合成爐（2）的出口端連接，電加熱器（1）的出口端通過第二閥門（4）和三通閥（5）與合成爐（2）的入口端連接，其特征在于：電加熱器（1）還連有蒸汽發生器，蒸汽發生器上的入口端設有第三閥門（6）和第四閥門（7），出口端分別設有蒸汽總管（8）、熱水槽管（10）和熱水槽（11）。
2.根據權利要求1所述的一種三氯氫硅合成爐余熱利用再生蒸汽裝置，其特征在于：蒸汽總管（8）上設有第五閥門（12），熱水槽（11）通過熱水槽管（10）與出口端連接，熱水槽管（10）上設有熱水槽泵（13）。
3.根據權利要求1所述的一種三氯氫硅合成爐余熱利用再生蒸汽裝置，其特征在于：三通閥（5）和合成爐（2）的入口端之間設有三通閥泵（14）。
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