[實用新型]一種真空泵

有效

• 申請號: 201220126846.6
• 申請日: 2012-03-29
• 公開（公告）號: CN202545172U
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 唐旭輝
• 申請（專利權）人: 江蘇聚能硅業有限公司
• 主分類號: F04B39/00
• 分類號: F04B39/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種真空泵，尤其涉及一種提升密封性的真空泵。

背景技術

目前，單晶硅制造行業使用的真空泵系統，單晶拉直中會產生氧化物，氧化物由真空管道進入真空泵。如果長時間不清理，會導致真空泵的卡死，從而產生一系列的重大損失。在此情況下，在對泵腔進行清理時，必須將原用油漆密封去除，但這樣會導致真空泵內部的真空泵油在機械振動時從刮去油漆的真空泵腔蓋縫隙處流出，導致浪費。如果再次使用油漆密封，則不僅風干時間較長，而且成本也較高。

有鑒于此，如何設計一種真空泵，可以增加密封性，以防止因機械振動從空泵腔蓋縫隙處流出，是業內人士亟需解決的問題。

實用新型內容

針對現有技術中對真空泵腔進行清洗時，要去除真空泵周圍的油漆，導致由從此縫隙處泄漏這一缺陷，本實用新型提供了一種真空泵。

根據本實用新型，提供了一種真空泵，具有一腔蓋，所述腔蓋通過螺絲固定于所述真空泵的背面，其特征在于，包括：

密封層，位于所述腔蓋內表面的四周圍，所述密封層通過涂覆密封脂形成。

優選地，所述密封脂由無機稠化劑稠化合成油而成。

本實用新型的優點是：在對應機械鐵板兩接觸面涂密封脂以增加一密封層，防止真空泵內部的真空泵油在機械振動時從刮去油漆的真空泵腔蓋縫隙處流出，從而可以節約成本。

附圖說明

讀者在參照附圖閱讀了本實用新型的具體實施方式以后，將會更清楚地了解本實用新型的各個方面。其中，

圖1示出了依據本實用新型的真空泵的結構示意圖。

具體實施方式：

下面參照附圖，對本實用新型的具體實施方式作進一步的詳細描述。

圖1示出了依據本實用新型的真空泵的結構示意圖。參照圖1，真空泵1具有一腔蓋10，腔蓋10位于真空泵1的背面，并且腔蓋10通過螺絲固定于真空泵10的壁體20上。在腔蓋10與壁體20相重疊的增加一密封層30。密封層30通過在腔蓋10內表面的四周圍涂覆密封脂而形成。本實施例中，密封脂由無機稠化劑稠化合成油而成。

本實用新型的優點是：在對應機械鐵板兩接觸面涂密封脂以增加一密封層，防止真空泵內部的真空泵油在機械振動時從刮去油漆的真空泵腔蓋縫隙處流出，從而可以節約成本。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等同物界定。