[實用新型]一種新型高精度外差激光測振儀

有效

• 申請號: 201220124814.2
• 申請日: 2012-03-29
• 公開（公告）號: CN202614366U
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 劉愛東;于梅;楊麗峰;左愛斌;馬明德
• 申請（專利權）人: 中國計量科學研究院
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 謝建云;劉鵬

1.一種外差激光測振儀，其特征在于包括:

激光源，被配置為生成激光束；

光學組件，被配置為將所生成的激光束分為參考光和測量光，將測量光投射到被測對象上并接收從被測對象反射的、具有第一頻移的測量光，將參考光頻移達第二頻率值，隨后對從被測對象反射的測量光和頻移了的參考光進行干涉以生成干涉光；

光電轉換器，被配置為將所述干涉光轉換為電測量信號；

混頻器，耦接到所述光電轉換器并被配置為將所述電測量信號與具有第三頻率的外部振蕩信號進行混頻以獲得混頻信號；

數字轉換器，耦接到所述混頻器并被配置為將所述混頻信號轉換為數字信號；以及

數字運算單元，耦接到所述數字轉換器并被配置為對所述數字信號進行數字運算以獲得有關被測對象的振動信息，以及

鑒頻器，耦接到所述數字轉換器，以從所述數字信號中鑒別出所述第一頻移，其中所述外部振蕩信號基于所鑒別出的第一頻移而生成。

2.如權利要求1所述的外差激光測振儀，其特征在于還包括本振信號發生器，耦接到所述鑒頻器并被配置為接收所述鑒頻器鑒別出的第一頻移來生成所述第三頻率的外部振蕩信號，其中所述第三頻率的值被設置為第一頻移和預定系數的乘積與第二頻率之和，以及所述預定系數為大于1的預設值。

3.如權利要求2所述的外差激光測振儀，其特征在于還包括晶振源，用于提供所述具有第二頻率的晶振信號，其中所述第二頻率的晶振信號被同時提供給所述光學組件和所述本振信號發生器。

4.如權利要求2或者3所述的外差激光測振儀，其特征在于所述預定系數為2。

5.如權利要求2或者3所述的外差激光測振儀，其特征在于所述第二頻率為40MHz。

6.如權利要求2或者3所述的外差激光測振儀，其特征在于還包括低通濾波器，耦接到所述混頻器，以便對所述混頻信號進行低通濾波以去除所述混頻信號的高頻部分，并將經過濾波的混頻信號發送給所述數字轉換器。

7.如權利要求2或者3所述的外差激光測振儀，其特征在于所述光學部件包括：

第一分光儀，被配置為將所生成的激光束分為參考光和測量光；

物鏡，被配置為將測量光投射到具有被測對象上并接收從被測對象反射的測量光；

聲光調制器，由所述具有第二頻率的晶振信號驅動來對所述參考光進行頻移；以及

第二分光儀，被配置為對由物鏡接收的反射測量光和由聲光調制器頻移后的參考光進行干涉以生成干涉光。