[實用新型]焰熔單晶爐

有效

• 申請號: 201220122186.4
• 申請日: 2012-03-28
• 公開（公告）號: CN202499929U
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發明（設計）人: 潘群輝;黃銳
• 申請（專利權）人: 上海贏奔晶體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種晶體爐，具體的說是一種降低晶體生成時軸向溫度梯度的焰熔單晶爐。

背景技術

晶體在生長過程中其軸向平均溫度梯度較大，晶體在培育及在隨后的冷卻過程中，會形成較大的熱應力，當超過晶體解理面的剪切強度時，就會導致晶體沿解理面斷裂，形成宏觀上的裂紋，并引起破裂。

傳統的焰熔單晶爐爐鏜結構的軸向平均溫度梯度較小，晶體擴肩后等徑生長不易控制，熔帽體積增加，經常出現側流現象，因此晶體一般在擴肩后就停止長大，不易長成大尺寸晶體。

發明內容

本實用新型為了克服現有技術的不足，提供了一種焰熔單晶爐。

為了實現上述目的，本實用新型設計了一種焰熔單晶爐，包括燃燒室，以及位于燃燒室底部的爐體，爐體內形成爐膛，還包括一個位于爐體下方的提升機構，提升機構的提升桿貫穿爐體底部位于爐膛內；所述燃燒室內設有多孔板將燃燒室分割成上腔體和下腔體；所述上腔體的一側形成氫氣進口，且上腔體的頂壁向下形成中心管并貫穿多孔板，中心管內設有內管連接下料裝置，所述下腔體套設環狀外管，并在下腔體的側壁上設有斜孔，環狀外管的一側形成氧氣進口，其特征在于：所述爐體包括上爐體，以及與上爐體相連的下爐體，上爐體相對下爐體的一側形成中視孔，上爐體的內側呈階梯狀的錐形結構，下爐體的內側配合上爐體呈階梯狀的倒錐形結構。

本實用新型同現有技術相比，上爐體和下爐體的內側呈階梯形，可降低金紅石晶體在生長時的軸向溫度梯度，降低晶體內部應力，避免晶體開裂。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

參見圖1，1為燃燒室；2為爐膛；3為提升機構；4為提升桿；5為多孔板；6為上腔體；7為下腔體、8為氫氣進口；9為中心管；10為內管；11為下料裝置；12為環狀外管；13為斜孔；14為氧氣進口；15為上爐體；16為下爐體；17為中視孔。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步描述。

如圖1所示，本實用新型包括燃燒室1，以及位于燃燒室1底部的爐體，爐體內形成爐膛2，還包括一個位于爐體下方的提升機構3，提升機構的提升桿4貫穿爐體底部位于爐膛2內；燃燒室1內設有多孔板5將燃燒室1分割成上腔體6和下腔體7；上腔體6的一側形成氫氣進口8，且上腔體7的頂壁向下形成中心管9并貫穿多孔板5，中心管9內設有內管10連接下料裝置11，下腔體7套設環狀外管12，并在下腔體7的側壁上設有斜孔13，環狀外管12的一側形成氧氣進口14。爐體包括上爐體15，以及與上爐體15相連的下爐體16，上爐體15相對下爐體16的一側形成中視孔17，上爐體15的內側呈階梯狀的錐形結構，下爐體16的內側配合上爐體15呈階梯狀的倒錐形結構。

同現有技術相比，在氣流不穩定或溫場改變時極易逸流的情況，將上爐體15和下爐體16的內側改變成多階梯型，以保持液態材料的穩定，保證大尺寸晶體的生長，降低了晶體生成時的軸向溫度梯度，降低晶體內部應力，避免晶體開裂。