[實用新型]可調式基于MEMS濾波的紅外探測器有效
| 申請號： | 201220121137.9 | 申請日： | 2012-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN202599535U | 公開（公告）日： | 2012-12-12 |
| 發明（設計）人： | 黃立;周文洪 | 申請（專利權）人： | 武漢高德紅外股份有限公司 |
| 主分類號： | G01J5/10 | 分類號： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 武漢開元知識產權代理有限公司 42104 | 代理人： | 唐正玉 |
| 地址： | 430223 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 調式 基于 mems 濾波 紅外探測器 | ||
1.可調式基于MEMS濾波的紅外探測器，主要包括微型法布里-泊羅干涉儀、紅外探測器(1)，其特征在于：在紅外探測器(1)表面設有金屬焊盤(8)；所述的微型法布里-泊羅干涉儀由上層平行板、下層平行板和中間的空腔(6)構成，所述的上層平行板包括SiN材料制備的平行板、可動懸臂梁(3)、金屬電極(5)、布拉格反射鏡(7)和單面的金屬焊盤(8)，在SiN材料制備的平行板上設有可動懸臂梁(3)、金屬電極(5)、外部偏置電壓的引線(4)、布拉格反射鏡(7)和單面的金屬焊盤(8)；所述的下層平行板包括SiN材料制備的平行板、金屬電極(5)、布拉格反射鏡(7)和雙面的金屬焊盤(8)，在SiN材料制備的平行板上對應地設有金屬電極(5)、外部偏置電壓的引線(4)、布拉格反射鏡(7)和雙面的金屬焊盤(8)；紅外探測器(1)的金屬焊盤與下層平行板的下表面金屬焊盤(8)焊接在一起，下層平行板的上表面金屬焊盤(8)與上層平行板的金屬焊盤(8)焊接在一起。
2.可調式基于MEMS濾波的紅外探測器，主要包括微型法布里-泊羅干涉儀、紅外探測器，其特征在于：在紅外探測器(16)上設有SiN緩沖層(17)，SiN緩沖層上設有下金屬電極(15)、外部偏置電壓引線(14)和下布拉格反射鏡(13)；在下布拉格反射鏡(13)上設有微懸臂梁(12)，并在微懸臂梁上設有上金屬電極(10)、外部偏置電壓引線(14)和上布拉格反射鏡(11)。
3.根據權利要求1或2所述的可調式基于MEMS濾波的紅外探測器，其特征在于：所述的紅外探測器(1)選用采用器件工藝技術制備的紅外探測器。
4.根據權利要求1或2所述的可調式基于MEMS濾波的紅外探測器，其特征在于：所述的微型法布里-泊羅干涉儀選用采用MEMS技術制備的微型法布里-泊羅干涉儀。
5.如權利要求1或2所述的可調式基于MEMS濾波的紅外探測器，其特征在于：所述的布拉格反射鏡由多層膜系構成，對紅外波段的反射率高于90％，而吸收率低于10％。
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