[實用新型]液漿噴射發生器有效
| 申請號: | 201220120989.6 | 申請日: | 2012-03-28 |
| 公開(公告)號: | CN202487540U | 公開(公告)日: | 2012-10-10 |
| 發明(設計)人: | 呂家權;蘇貴東;楊成剛;李斌;蔡景洋;張玉剛;唐建榮;黃成高;馮云;連云剛;尹國平;高鵬;劉永鵬;馮大發;聶平建 | 申請(專利權)人: | 貴州振華風光半導體有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/00 | 分類號: | H01L21/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 貴陽中工知識產權代理事務所 52106 | 代理人: | 劉安寧 |
| 地址: | 550018 貴*** | 國省代碼: | 貴州;52 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 噴射 發生器 | ||
1.?一種液漿噴射發生器,其特征在于它由工作臺、液漿回收槽、液漿攪拌系統、噴頭和防護隔離罩5個部分組成,其中:工作臺由臺板(1)和臺柱(2)組成,臺柱(2)支撐臺板(1),臺板(1)中部開有一個圓形孔;液漿回收槽安裝在臺板(1)上方,液漿攪拌系統安裝在臺板(1)下方,防護隔離罩置于臺板(1)上方、罩在液漿回收槽外部;液漿回收槽由長方形的槽體(3)和圓筒形的回流管(4)組成,槽體內有帶小孔的隔板(5)將其分為上下兩部分,槽體(3)下部四周有邊、中心有回流管(4);液漿攪拌系統由液漿筒(6)、鼓泡攪拌導管(7)、液漿導管(8)組成,鼓泡攪拌導管(7)和液漿導管(8)分別插入液漿筒(6)之中;噴頭為一直管與一支管交叉的三通形,其支管是液漿進口(9),直管兩端是液漿噴射出口(10)和壓縮空氣進口(11),液漿進口(9)有軟管(16)連接到液漿導管(8),壓縮空氣進口(11)與壓縮空氣管道連接;防護隔離罩是透明罩,其底部開有液漿回收槽安裝孔(12),側面開有傳遞窗口(13),頂部開有水霧排氣孔(14),正面開有兩個操作孔(15)。
2.?按照權利要求1所述的液漿噴射發生器,其特征在于所述臺板(1)中部開的圓形孔直徑與液漿回收槽的回流管(4)外徑一致。
3.??按照權利要求1所述的液漿噴射發生器,其特征在于所述防護隔離罩底板開的收槽安裝孔(12)為長方形,尺寸與液漿回收槽外形一致。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





