[實用新型]一種BGA微焊球制備裝置有效
| 申請號: | 201220118613.1 | 申請日: | 2012-03-27 |
| 公開(公告)號: | CN202473855U | 公開(公告)日: | 2012-10-03 |
| 發明(設計)人: | 周許升;龍偉民;于新泉;馬力;齊劍釗;李永;楊威;展邦華;潘世師;鄒偉 | 申請(專利權)人: | 鄭州機械研究所 |
| 主分類號: | H01L21/48 | 分類號: | H01L21/48 |
| 代理公司: | 鄭州中民專利代理有限公司 41110 | 代理人: | 郭中民 |
| 地址: | 450001 河南省鄭*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 bga 微焊球 制備 裝置 | ||
1.一種BGA微焊球制備裝置,其特征在于:包括筒形容器(1)和位于筒形容器上端的擠壓裝置(2),依次設置在擠壓裝置(2)下方的擠壓模(3)和切斷裝置(4);筒形容器(1)內腔的上部為在容器壁上設置有加熱保溫層的焊球加熱成型區(6)、下部為填裝有冷卻劑的焊球冷卻定形區(7),在容器外部設置有溫控裝置(8);所述擠壓模(3)上分布有若干等直徑的細釬料絲擠壓孔;所述切斷裝置(4)是由驅動機構(10)驅動的與擠壓模(3)結構相同的刀具構成,刀具上的擠壓孔與擠壓模上的擠壓孔一一對應,形成通孔。
2.根據權利要求1所述的BGA焊球制備裝置,特征在于:所述驅動機構(10)包括由電動機帶動凸輪(11)、由凸輪(11)驅動的推桿(12)、套裝在推桿上的復位彈簧(14)、以及用于限制推桿作水平方向位移運動的導向套管(13);所述的切斷裝置(4)設置在推桿(12)的前端。
3.根據權利要求1所述的BGA焊球制備裝置,特征在于:所述加熱保溫層是由電阻絲加熱保溫裝置構成。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





